[發(fā)明專利]一種晶圓檢測雙鏡頭模組

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011482902.5
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112485879A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梅力;胡冬云
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇卓玉智能科技有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓檢測雙鏡頭模組, 包括安裝座（1）、第一連接座（2）和第二連接座（3），其特征在于：所述安裝座（1）下端面分別安裝第一安裝孔（4）和第二安裝孔（5），所述第一連接座（2）、第二連接座（3）分別通過裝夾機構(gòu)固定于第一安裝孔（4）和第二安裝孔（5），所述第一連接座（2）螺紋連接第一鏡頭套筒安裝座（6），所述第一鏡頭套筒安裝座（6）上安裝第一鏡頭套筒（7），所述第一鏡頭套筒（7）上安裝第一鏡頭（8），所述第二連接座（3）螺紋連接第二鏡頭套筒安裝座（9），所述第二鏡頭套筒安裝座（9）上安裝第二鏡頭套筒（10），所述第二鏡頭套筒（10）上安裝第二鏡頭（11）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述裝夾機構(gòu)包括第一裝夾塊（12）、第二裝夾塊（13）、第三裝夾塊（14）和第四裝夾塊（15），所述第一裝夾塊（12）與安裝孔側(cè)壁之間連接第一頂緊氣缸（16），所述第二裝夾塊（13）與安裝孔側(cè)壁之間連接第二頂緊氣缸（17），所述第三裝夾塊（14）與安裝孔側(cè)壁之間連接第三頂緊氣缸（18），所述第四裝夾塊（15）與安裝孔側(cè)壁之間連接第四頂緊氣缸（19）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述第一裝夾塊（12）、第二裝夾塊（13）、第三裝夾塊（14）和第四裝夾塊（15）均采用弧形結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述安裝座（1）一側(cè)固定安裝板（20），所述安裝座（1）上端面開設(shè)鏡筒安裝孔（21）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述安裝座（1）側(cè)壁還安裝信號插接孔（22）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述第一鏡頭（8）一側(cè)固定安裝第一光源（23），所述第二鏡頭（11）一側(cè)固定安裝第二光源（24）。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測雙鏡頭模組，其特征在于：所述第一裝夾塊（12）、第二裝夾塊（13）、第三裝夾塊（14）和第四裝夾塊（15）內(nèi)側(cè)壁分別安裝橡膠墊（25）。