[發(fā)明專利]一體化半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)及清洗方法

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• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN112657992A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 武春風(fēng);趙天源;莫尚軍;劉林濤;王文杰;魏浩
• 申請（專利權(quán)）人: 航天科工微電子系統(tǒng)研究院有限公司
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 賈年龍

本發(fā)明公開了一體化半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)及清洗方法，所述方法包括步驟：S1，當(dāng)清洗機(jī)本體啟動(dòng)工作時(shí)，主電源上電，排風(fēng)風(fēng)機(jī)的電機(jī)啟動(dòng)，在晶圓清洗過程中，排風(fēng)風(fēng)機(jī)一直處于工作狀態(tài)，排風(fēng)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)抽風(fēng)，抽去清洗機(jī)本體內(nèi)清洗腔體中的水霧，至排風(fēng)管排開；S2，在清洗機(jī)本體工作過程中，潔凈室內(nèi)的溫度恒定，當(dāng)步驟S1中排風(fēng)管產(chǎn)生冷凝水和結(jié)水時(shí)，冷凝水和結(jié)水通過單向閥由清洗機(jī)本體內(nèi)部流至外清洗機(jī)本體，從外側(cè)回流至內(nèi)側(cè)的水無法通過單向閥，冷凝水無法回流等；本發(fā)明能有效保證晶圓清洗后無殘留污漬，干燥過程完成后不會(huì)有污漬產(chǎn)生等。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓清洗領(lǐng)域，更為具體的，涉及一體化半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)及清洗方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體封裝工藝流程中，晶圓劃片清洗是非常重要的環(huán)節(jié)，劃片完成后，對(duì)晶圓的清洗效果，直接影響后道工序的良率，一旦晶圓清洗出現(xiàn)未能完全清潔的情況，會(huì)導(dǎo)致后期工藝流程困難重重。

現(xiàn)有技術(shù)中，常規(guī)晶圓清洗機(jī)是在廠務(wù)端為晶圓清洗機(jī)添加抽風(fēng)設(shè)施，使其達(dá)到排風(fēng)要求，例如在晶圓清洗機(jī)排風(fēng)口直接外接排風(fēng)管接入廠務(wù)端排風(fēng)總管，廠務(wù)端使用高功率電機(jī)對(duì)廠房內(nèi)所有需要排風(fēng)的設(shè)備進(jìn)行排風(fēng)作業(yè)。在清洗完成后，由于廠務(wù)端可能存在的排風(fēng)負(fù)載較大所造成的排風(fēng)量不足等因素，造成晶圓清洗不完全，晶圓表面就會(huì)有污漬殘留的風(fēng)險(xiǎn)，使后續(xù)工藝良率降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一體化半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)及清洗方法，能有效保證晶圓清洗過程中的干燥環(huán)節(jié)，抽風(fēng)量足夠使其干燥環(huán)節(jié)徹底有效，從而使晶圓清洗后無殘留污漬；附加排風(fēng)管與設(shè)備連接處，加裝單向閥，閥流向?yàn)閺膬?nèi)至外，保證使用過程中不會(huì)產(chǎn)生冷凝水回流，從而使干燥過程完成后不會(huì)有污漬產(chǎn)生等。

本發(fā)明的目的是通過以下方案實(shí)現(xiàn)的：

一體化半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)，包括清洗機(jī)本體，在清洗機(jī)本體上設(shè)置有排風(fēng)風(fēng)機(jī)，在所述排風(fēng)風(fēng)機(jī)上設(shè)置有單向閥和風(fēng)機(jī)電機(jī)，單向閥與風(fēng)機(jī)電機(jī)連接，且所述單向閥設(shè)置流向?yàn)橛蓛?nèi)至外單向?qū)?，用于使清洗機(jī)本體在運(yùn)轉(zhuǎn)排風(fēng)過程中，形成的水霧與氣體僅能夠由內(nèi)至外單向流。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)電機(jī)包括變頻電機(jī)，且該變頻電機(jī)的電源端與清洗機(jī)本體的電源端連接，由清洗機(jī)本體的電源對(duì)變頻電機(jī)供電，在清洗機(jī)本體啟動(dòng)后就能夠啟動(dòng)工作。

進(jìn)一步地，所述排風(fēng)風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口設(shè)置在清洗機(jī)本體的后方右側(cè)，排風(fēng)口設(shè)置位置在距離清洗機(jī)本體右邊緣80mm～200mm之間。

進(jìn)一步地，所述排風(fēng)風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口的直徑在50mm～75mm之間。

進(jìn)一步地，變頻電機(jī)設(shè)置在排風(fēng)風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口處。

進(jìn)一步地，包括排風(fēng)管，排風(fēng)管與單向閥連接。

進(jìn)一步地，包括步驟：

S1，當(dāng)清洗機(jī)本體啟動(dòng)工作時(shí)，主電源上電，排風(fēng)風(fēng)機(jī)的電機(jī)啟動(dòng)，在晶圓清洗過程中，排風(fēng)風(fēng)機(jī)一直處于工作狀態(tài)，排風(fēng)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)抽風(fēng)，抽去清洗機(jī)本體內(nèi)清洗腔體中的水霧，至排風(fēng)管排開；

S2，在清洗機(jī)本體工作過程中，潔凈室內(nèi)的溫度恒定，當(dāng)步驟S1中排風(fēng)管產(chǎn)生冷凝水和結(jié)水時(shí)，冷凝水和結(jié)水通過單向閥由清洗機(jī)本體內(nèi)部流至外清洗機(jī)本體，從外側(cè)回流至內(nèi)側(cè)的水無法通過單向閥，冷凝水無法回流。

進(jìn)一步地，包括步驟S3：

S3，在清洗機(jī)本體工作運(yùn)行一段時(shí)間之后在設(shè)備階段性維護(hù)時(shí)拆卸排風(fēng)管，將單向閥阻隔的結(jié)水放走。

本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明能有效保證晶圓清洗過程中的干燥環(huán)節(jié)，抽風(fēng)量足夠使其干燥環(huán)節(jié)徹底有效，從而使晶圓清洗后無殘留污漬；附加排風(fēng)管與設(shè)備連接處，加裝單向閥，閥流向?yàn)閺膬?nèi)至外，保證使用過程中不會(huì)產(chǎn)生冷凝水回流，從而使干燥過程完成后不會(huì)有污漬產(chǎn)生；附加排風(fēng)管可以使用外加小型抽風(fēng)機(jī)，直接從設(shè)備主電源取電，有效節(jié)約能源等。