[發明專利]一種太陽能電池及其制作方法

在審

• 申請號: 202011479354.0
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112599617A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 童洪波;徐新星;顏翼飛;李華;靳玉鵬
• 申請（專利權）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/068;H01L31/18
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 付珍;王勝利

1.一種太陽能電池的制作方法，其特征在于，包括：

提供一硅基底，所述硅基底的第一面具有第一摻雜層以及位于所述第一摻雜層上的第一氧化層，所述第一氧化層具有貫穿所述第一氧化層的凹槽，所述第一摻雜層的第一區域裸露于所述凹槽的內部；

利用氧化性溶液和氫氟酸對所述凹槽進行清洗以形成凹槽內疏水狀態；

在所述第一氧化層的掩模下，在第一區域形成第二摻雜層，所述第二摻雜層的摻雜濃度大于所述第一摻雜層的摻雜濃度。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氧化性溶液和所述氫氟酸處于同一溶液體系。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氧化性溶液和所述氫氟酸處于不同溶液體系；利用氧化性溶液和氫氟酸對所述凹槽進行清洗包括：

利用氧化性溶液對凹槽進行第一次清洗；

利用氫氟酸對凹槽進行第二次清洗。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氫氟酸的質量分數小于或等于0.5％。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氧化性溶液至少含有臭氧。

6.根據權利要求5所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氧化性溶液的pH值小于7，和/或，所述氧化性溶液的臭氧濃度小于或等于30mg/L。

7.根據權利要求5所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述氧化性溶液的pH值為2～4；和/或，所述氧化性溶液還包括氯化氫。

8.根據權利要求1～7任一項所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述凹槽為激光開膜形成的凹槽，所述激光開膜的激光脈沖寬度小于20ns，或，所述凹槽為刻蝕漿料刻蝕開膜形成的凹槽；和/或，

形成所述第一摻雜層和第二摻雜層的方法為熱擴散工藝、離子注入摻雜或摻雜源涂布推進。

9.根據權利要求1～7任一項所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，在形成第二摻雜層后，所述太陽能電池的制作方法還包括：在所述硅基底的第二面形成鈍化接觸結構，和/或，在所述硅基底的第二面形成鈍化層。

10.一種太陽能電池，其特征在于，所述太陽能電池采用權利要求1～9任一項所述的太陽能電池的制作方法制作而成。