[發明專利]曝光機及均光光源

在審

• 申請號: 202011478328.6
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112485977A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 馬建立;王東;侯若洪
• 申請（專利權）人: 深圳光韻達光電科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 孟學英

本發明的實施例公開一種曝光機及均光光源。所述均光光源包括激光器、輸出光纖、矩形纖芯光纖和能調節靶面上的光斑大小的第一光學單元；所述激光器能將光輸入至所述輸出光纖的一端；所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端；所述矩形纖芯光纖的另一端能將光輸入至所述第一光學單元；所述第一光學單元能將光投射至所述靶面。所述曝光機包括所述均光光源。本發明的實施例能減少光損耗。

技術領域

本發明涉及光源技術領域，特別涉及一種曝光機及均光光源。

背景技術

曝光機需要用到均光光源。目前的曝光機使用的均光光源是基于復眼透鏡而搭建的；然而，復眼透鏡具有多個子透鏡，需要經過很多計算才能設計出光路，這樣得到均光光源的光路十分復雜，所需的元件很多，造成很多的光損耗。

以上背景技術內容的公開僅用于輔助理解本發明的發明構思及技術方案，其并不必然屬于本發明的現有技術，在沒有明確的證據表明上述內容在本發明的申請日之前已經公開的情況下，上述背景技術不應當用于評價本發明的新穎性和創造性。

發明內容

本發明提出一種曝光機及均光光源，能減少光損耗。

在第一方面，本發明提供一種均光光源，包括激光器、輸出光纖、矩形纖芯光纖和能調節靶面上的光斑大小的第一光學單元；

所述激光器能將光輸入至所述輸出光纖的一端；

所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端；

所述矩形纖芯光纖的另一端能將光輸入至所述第一光學單元；

所述第一光學單元能將光投射至所述靶面。

在一些優選的實施方式中，所述輸出光纖的另一端與所述矩形纖芯光纖的一端熔接，以使得所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端。

在一些優選的實施方式中，還包括耦合器；所述輸出光纖的另一端通過所述耦合器與所述矩形纖芯光纖的一端耦合，以使得所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端。

在一些優選的實施方式中，所述第一光學單元為準直透鏡。

在一些優選的實施方式中，所述第一光學單元為成像鏡頭。

在一些優選的實施方式中，所述輸出光纖具有橫截面為圓形的纖芯。

在一些優選的實施方式中，所述矩形纖芯光纖具有橫截面為矩形的纖芯；所述輸出光纖的纖芯的直徑小于所述矩形纖芯光纖的纖芯的任一邊長。

在一些優選的實施方式中，所述激光器與所述輸出光纖的一端連接，以將光輸入至所述輸出光纖的一端。

在一些優選的實施方式中，所述激光器的具體形式包括激光半導體激光器或固體激光器。

在第二方面，本發明提供一種曝光機，包括上述均光光源。

與現有技術相比，本發明的實施例的有益效果包括：

激光器工作產生的激光輸入至輸出光纖，光在輸出光纖中傳播，從輸出光纖的另一端輸出的光輸入至矩形纖芯光纖，從矩形纖芯光纖的另一端輸出的光具有矩形均勻化光場分布，是均勻光；均勻光從矩形纖芯光纖的另一端輸入至第一光學單元，經過第一光學單元后形成指定的像投射至靶面，可在靶面得到均勻的光斑。本發明的實施例的均光光源的器件的結構簡單，便于設計，所需的元件也少，能減少光損耗。

附圖說明

圖1為本發明一個實施例的均光光源的結構示意圖；

圖2為本發明一個實施例的均光光源的一種變型方式的結構示意圖；

圖3為本發明一個實施例的輸出光纖的結構示意圖；