[發明專利]曝光機及均光光源在審
| 申請號： | 202011478328.6 | 申請日： | 2020-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN112485977A | 公開（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發明（設計）人： | 馬建立;王東;侯若洪 | 申請（專利權）人： | 深圳光韻達光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人： | 孟學英 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 光源 | ||
1.一種均光光源，其特征在于：
包括激光器、輸出光纖、矩形纖芯光纖和能調節靶面上的光斑大小的第一光學單元；
所述激光器能將光輸入至所述輸出光纖的一端；
所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端；
所述矩形纖芯光纖的另一端能將光輸入至所述第一光學單元；
所述第一光學單元能將光投射至所述靶面。
2.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述輸出光纖的另一端與所述矩形纖芯光纖的一端熔接，以使得所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端。
3.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：
還包括耦合器；
所述輸出光纖的另一端通過所述耦合器與所述矩形纖芯光纖的一端耦合，以使得所述輸出光纖的另一端能將光輸入至所述矩形纖芯光纖的一端。
4.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述第一光學單元為準直透鏡。
5.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述第一光學單元為成像鏡頭。
6.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述輸出光纖具有橫截面為圓形的纖芯。
7.根據權利要求6所述均光光源，其特征在于：所述矩形纖芯光纖具有橫截面為矩形的纖芯；所述輸出光纖的纖芯的直徑小于所述矩形纖芯光纖的纖芯的任一邊長。
8.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述激光器與所述輸出光纖的一端連接，以將光輸入至所述輸出光纖的一端。
9.根據權利要求1所述均光光源，其特征在于：所述激光器的具體形式包括激光半導體激光器或固體激光器。
10.一種曝光機，其特征在于：包括根據權利要求1至9任一項所述均光光源。
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