[發(fā)明專利]一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法

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• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112591786A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐安泰
• 申請（專利權(quán)）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: C01G19/02
• 分類號: C01G19/02;C01G15/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 楊千尋;杜梅花

本發(fā)明公開了一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后經(jīng)磨削液沖洗產(chǎn)生磨削廢液收集，磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質(zhì)粉末，磨削輪雜質(zhì)粉末是無機(jī)物粉末；磨削廢液收集后經(jīng)一次過濾和二次分離，得到的混合粉末固體除油進(jìn)行比重分離得到ITO粉末固體和雜質(zhì)固體分開，ITO粉末固體水洗后干燥得到ITO粉末。本發(fā)明具有從磨削廢液中回收ITO粉末，磨削廢液采用二次分離的方法，使固液分離機(jī)負(fù)擔(dān)小，能耗降低，同時降低固液分離機(jī)的損耗，延長使用壽命的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及ITO靶材技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法。

背景技術(shù)

氧化銦錫是一種銦(III族)氧化物(In2O3)和錫(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常質(zhì)量比為90％In2O3，10％SnO2。它在薄膜狀時，透明，略顯茶色。在塊狀態(tài)時，它呈黃偏灰色。

ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙、有機(jī)發(fā)光二極管、以及太陽能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明傳導(dǎo)鍍膜。

ITO也被用于各種光學(xué)鍍膜，最值得注意的有建筑學(xué)中紅外線-反射鍍膜(熱鏡)、汽車、還有鈉蒸汽燈玻璃等。別的應(yīng)用包括氣體傳感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

ITO薄膜應(yīng)可以在高于1400℃及嚴(yán)酷的環(huán)境中使用，例如氣體渦輪、噴氣引擎、還有火箭引擎。

近年來，隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展，用于沉積ITO薄膜的靶材用量迅猛增加，但是目前ITO靶材的利用率只有30％左右，會有70％的靶材成為廢料，存在很大的資源浪費(fèi)問題。在生產(chǎn)ITO靶材的過程中，磨削ITO靶材之后所剩下的磨削廢液中，不僅含有磨削液以及少量的雜質(zhì)粉末，還含有大量的ITO粉末殘留，磨削液直接排放會導(dǎo)致ITO粉末的浪費(fèi)，增加公司的生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，具備從磨削廢液中回收ITO粉末，磨削廢液采用二次分離的方法，使固液分離機(jī)負(fù)擔(dān)小，能耗降低，同時降低固液分離機(jī)的損耗，延長使用壽命的優(yōu)點(diǎn)，解決了磨削液直接排放會導(dǎo)致ITO粉末的浪費(fèi)，增加公司的生產(chǎn)成本的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后經(jīng)磨削液沖洗產(chǎn)生磨削廢液收集，磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質(zhì)粉末，磨削輪雜質(zhì)粉末是無機(jī)物粉末；

所述方法包括以下步驟：

S1、從磨削機(jī)上流出的磨削廢液收集到超濾膜筒內(nèi)，磨削廢液從超濾膜筒內(nèi)的超濾膜通過，超濾膜筒將磨削廢液中大部分的混合粉末固體攔截過濾，少量小顆粒的混合粉末固體通過超濾膜筒；

S2、經(jīng)過超濾膜筒一次過濾后的磨削廢液進(jìn)入到固液分離機(jī)內(nèi)，在固液分離機(jī)的作用下，廢液和混合粉末固體分離，廢液和混合粉末固體分開排出；固液分離機(jī)只分離少量的混合粉末固體，使固液分離機(jī)負(fù)擔(dān)小，能耗降低，同時降低固液分離機(jī)的損耗，延長使用壽命；

S3、經(jīng)過超濾膜筒一次過濾后的混合粉末固體和固液分離機(jī)分離出的混合粉末固體一起加入到除油鍋中，先加入機(jī)油，ITO粉末混合固體浸泡1-2min后再次加入陰離子表面活性劑，再次將ITO粉末混合固體浸泡3-5min，浸泡的過程通過攪拌機(jī)對除油鍋內(nèi)溶液勻速攪拌；除油后將混合粉末固體撈出并用純凈水進(jìn)行洗滌得到干凈的混合粉末固體；

S4、將S3中等到的干凈的混合粉末固體加入到分離機(jī)中，分離機(jī)中加入50-60％濃度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作為比重分離溶液，混合粉末固體加入后先攪拌，然后停止攪拌使溶液靜置，等到溶液分層后撈出上層溶液的漂浮物，再次沉淀，重復(fù)沉淀-撈出操作，直到上層溶液不再有漂浮物，將ITO粉末和雜質(zhì)粉末分離；