[發明專利]一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法

在審

• 申請號: 202011477132.5
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112591786A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 唐安泰
• 申請（專利權）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: C01G19/02
• 分類號: C01G19/02;C01G15/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 楊千尋;杜梅花

本發明公開了一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后經磨削液沖洗產生磨削廢液收集，磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質粉末，磨削輪雜質粉末是無機物粉末；磨削廢液收集后經一次過濾和二次分離，得到的混合粉末固體除油進行比重分離得到ITO粉末固體和雜質固體分開，ITO粉末固體水洗后干燥得到ITO粉末。本發明具有從磨削廢液中回收ITO粉末，磨削廢液采用二次分離的方法，使固液分離機負擔小，能耗降低，同時降低固液分離機的損耗，延長使用壽命的優點。

技術領域

本發明涉及ITO靶材技術領域，具體為一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法。

背景技術

氧化銦錫是一種銦(III族)氧化物(In2O3)和錫(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常質量比為90％In2O3，10％SnO2。它在薄膜狀時，透明，略顯茶色。在塊狀態時，它呈黃偏灰色。

ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙、有機發光二極管、以及太陽能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明傳導鍍膜。

ITO也被用于各種光學鍍膜，最值得注意的有建筑學中紅外線-反射鍍膜(熱鏡)、汽車、還有鈉蒸汽燈玻璃等。別的應用包括氣體傳感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

ITO薄膜應可以在高于1400℃及嚴酷的環境中使用，例如氣體渦輪、噴氣引擎、還有火箭引擎。

近年來，隨著電子信息技術的發展，用于沉積ITO薄膜的靶材用量迅猛增加，但是目前ITO靶材的利用率只有30％左右，會有70％的靶材成為廢料，存在很大的資源浪費問題。在生產ITO靶材的過程中，磨削ITO靶材之后所剩下的磨削廢液中，不僅含有磨削液以及少量的雜質粉末，還含有大量的ITO粉末殘留，磨削液直接排放會導致ITO粉末的浪費，增加公司的生產成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，具備從磨削廢液中回收ITO粉末，磨削廢液采用二次分離的方法，使固液分離機負擔小，能耗降低，同時降低固液分離機的損耗，延長使用壽命的優點，解決了磨削液直接排放會導致ITO粉末的浪費，增加公司的生產成本的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后經磨削液沖洗產生磨削廢液收集，磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質粉末，磨削輪雜質粉末是無機物粉末；

所述方法包括以下步驟：

S1、從磨削機上流出的磨削廢液收集到超濾膜筒內，磨削廢液從超濾膜筒內的超濾膜通過，超濾膜筒將磨削廢液中大部分的混合粉末固體攔截過濾，少量小顆粒的混合粉末固體通過超濾膜筒；

S2、經過超濾膜筒一次過濾后的磨削廢液進入到固液分離機內，在固液分離機的作用下，廢液和混合粉末固體分離，廢液和混合粉末固體分開排出；固液分離機只分離少量的混合粉末固體，使固液分離機負擔小，能耗降低，同時降低固液分離機的損耗，延長使用壽命；

S3、經過超濾膜筒一次過濾后的混合粉末固體和固液分離機分離出的混合粉末固體一起加入到除油鍋中，先加入機油，ITO粉末混合固體浸泡1-2min后再次加入陰離子表面活性劑，再次將ITO粉末混合固體浸泡3-5min，浸泡的過程通過攪拌機對除油鍋內溶液勻速攪拌；除油后將混合粉末固體撈出并用純凈水進行洗滌得到干凈的混合粉末固體；

S4、將S3中等到的干凈的混合粉末固體加入到分離機中，分離機中加入50-60％濃度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作為比重分離溶液，混合粉末固體加入后先攪拌，然后停止攪拌使溶液靜置，等到溶液分層后撈出上層溶液的漂浮物，再次沉淀，重復沉淀-撈出操作，直到上層溶液不再有漂浮物，將ITO粉末和雜質粉末分離；