[發明專利]一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法

在審

• 申請號: 202011477132.5
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112591786A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 唐安泰
• 申請（專利權）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: C01G19/02
• 分類號: C01G19/02;C01G15/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 楊千尋;杜梅花

1.一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：ITO靶材磨削后經磨削液沖洗產生磨削廢液收集，磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質粉末，磨削輪雜質粉末是無機物粉末；

所述方法包括以下步驟：

S1、從磨削機上流出的磨削廢液收集到超濾膜筒內，磨削廢液從超濾膜筒內的超濾膜通過，超濾膜筒將磨削廢液中大部分的混合粉末固體攔截過濾，少量小顆粒的混合粉末固體通過超濾膜筒；

S2、經過超濾膜筒一次過濾后的磨削廢液進入到固液分離機內，在固液分離機的作用下，廢液和混合粉末固體分離，廢液和混合粉末固體分開排出；固液分離機只分離少量的混合粉末固體，使固液分離機負擔小，能耗降低，同時降低固液分離機的損耗，延長使用壽命；

S3、經過超濾膜筒一次過濾后的混合粉末固體和固液分離機分離出的混合粉末固體一起加入到除油鍋中，先加入機油，ITO粉末混合固體浸泡1-2min后再次加入陰離子表面活性劑，再次將ITO粉末混合固體浸泡3-5min，浸泡的過程通過攪拌機對除油鍋內溶液勻速攪拌；除油后將混合粉末固體撈出并用純凈水進行洗滌得到干凈的混合粉末固體；

S4、將S3中等到的干凈的混合粉末固體加入到分離機中，分離機中加入50-60％濃度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作為比重分離溶液，混合粉末固體加入后先攪拌，然后停止攪拌使溶液靜置，等到溶液分層后撈出上層溶液的漂浮物，再次沉淀，重復沉淀-撈出操作，直到上層溶液不再有漂浮物，將ITO粉末和雜質粉末分離；

S5、經過分離機分離后的ITO粉末固體進行水洗作業，水洗流程分為浸泡和持續沖洗兩個步驟，經過分離機分離的ITO粉末固體裝入到超濾膜袋中，超濾膜袋的超濾膜孔徑為0.002μm，先將超濾膜袋內的ITO粉末固體在純凈水中浸泡1-2min，在將超濾膜袋撈起送入到純凈水排水管處進行沖洗2-3min，徹底去除蔗糖溶液的殘留；

S6、經過水洗后的ITO粉末固體送入到干燥機內進行干燥，將ITO粉末固體的水分蒸發，得到ITO粉末。

2.一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：磨削廢液收集后經一次過濾和二次分離，得到的混合粉末固體除油進行比重分離得到ITO粉末固體和雜質固體分開，ITO粉末固體水洗后干燥得到ITO粉末。

3.根據權利要求1所述的一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：磨削廢液首先通過超濾膜筒，超濾膜筒內置的超濾膜孔徑為0.01μm。

4.根據權利要求1所述的一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：除油鍋處于室溫條件下進行作業。

5.根據權利要求1所述的一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：除油后的ITO粉末混合固體加入到分離機前通過純凈水進行洗滌，去除含有的機油和陰離子表面活性劑。

6.根據權利要求1所述的一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：干燥機內的溫度設置在40-50℃，時間設定在5-6min，ITO粉末固體干燥后自然冷卻。

7.根據權利要求1所述的一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：超濾膜筒內置的超濾膜架與超濾膜筒之間通過螺栓固定，超濾膜架與超濾膜筒可拆卸。