[發明專利]一種水冷屏對中組件及對中方法

有效

• 申請號: 202011473256.6
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112501685B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 吳春生;羅漢昌;姜宏偉
• 申請（專利權）人: 南京晶能半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張弛

本發明公開了一種水冷屏對中組件，包括水冷屏、位于水冷屏外圍的熱場組件、相機支架；所述相機支架上設有云臺相機；所述云臺相機的攝像頭面對水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙；通過云臺相機能夠直接通過攝像方式檢測水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙，如某處空隙不符合預設值，則可以通過吊裝調節固定裝置微調水冷屏位置直至水冷屏底部側緣與熱場組件之間任一個角度的空隙均符合要求。從而能夠提高最終成品中水冷屏的定位，提高生產的產品良率。

技術領域

本發明屬于硅晶體材料單晶爐技術領域。

背景技術

現有技術的半導體技術領域中，需要使用硅單晶爐通過提拉法制備硅片。如公開號為105177701A的中國專利申請，即公開一種現有技術的硅單晶爐。其中晶體位于坩堝中制備，坩堝通過坩堝托盤設置在提拉軸上。坩堝外圍為具有熱場的爐體。坩堝上方設有熱屏(即水冷屏)。該熱屏同樣位于熱場內并且需要準確的定位在熱場內及坩堝上方。當坩堝中的晶體柱向上提拉時會自下而上通過熱屏，如果熱屏的定位有偏差，則晶體柱容易與熱屏產生碰撞而造成污染或者損壞；直接造成產品報廢。但在實際操作中，由于對中裝置往往存在偏差造成熱屏難以達到定位要求，并且缺乏檢測手段，大多以人工經驗方式進行調整，造成定位的準確率有限。

故，需要一種新的技術方案以解決上述問題。

發明內容

發明目的：本發明的目的是提供一種水冷屏對中組件，能夠對水冷屏與熱場組件之間的間隙進行檢測，以提高對中準確率。

本發明還提供了使用該對中組件的對中方法。

技術方案：為達到上述目的，本發明水冷屏對中組件可采用如下技術方案：

一種水冷屏對中組件，包括水冷屏、位于水冷屏外圍的熱場組件、位于水冷屏下方的托盤、安裝在水冷屏底部的對中圓盤、安裝在對中圓盤與托盤之間的對中工裝伸縮支架、安裝在水冷屏上部的吊裝調節固定裝置、同樣安裝在對中圓盤與托盤之間的相機支架；所述相機支架上設有云臺相機；所述云臺相機的攝像頭面對水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙；通過轉動托盤而帶動對中圓盤、相機支架及云臺相機轉動，云臺相機拍攝多個角度的水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙。

進一步的，所述水冷屏上部兩側分別延伸出對稱設置的進水管及出水管；進水管及出水管的上部均安裝有吊裝調節固定裝置。

進一步的，所述吊裝調節裝置包括外殼、位于外殼上端的頂蓋、位于外殼下端的底蓋、位于外殼內的波紋管；波紋管的底部安裝在底蓋上，且底蓋上具有與波紋管內部連通的開口；水管自上而下貫穿頂蓋和底蓋并自底蓋的開口延伸出，水管在外殼內的部分自上而下穿過波紋管，所述波紋管上部設有與水管外表面之間配合的密封件；所述水管為進水管或者出水管。

進一步的，所述云臺相機具有無線傳輸功能，并將圖像傳輸至移動端。

有益效果：本發明提供的對中組件通過云臺相機能夠直接通過攝像方式從內部檢測水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙，且通過托盤的旋轉實現對水冷屏底部側緣與熱場之間一周360°空隙的無死角檢測，如某處空隙不符合預設值，則可以通過吊裝調節固定裝置微調水冷屏位置直至水冷屏底部側緣與熱場組件之間任一個角度的空隙均符合要求。從而能夠提高最終成品中水冷屏的定位，提高生產的產品良率。

而進一步的，水冷屏上部兩側分別延伸出對稱設置的進水管及出水管，吊裝調節固定裝置直接與進水管及出水管連接。從而使進水管及出水管不但承擔進出水功能，同時也作為向上延伸的懸吊組件，一舉兩得。

進一步的，吊裝調節裝置中設置波紋管，且波紋管與水管之間設置了密封件。當進、出水管有加工和安裝誤差時，通過吊裝調節裝置內置的調節機構調節，而利用波紋管的柔性，補償調節時產生的位移和偏轉，同時又能夠通過波紋管與水管之間的密封件阻斷波紋管內部的真空和波紋管外部的大氣。

本發明還提供了使用上述水冷屏對中組件的對中方法的技術方案，包括以下步驟：