[發明專利]一種水冷屏對中組件及對中方法

有效

• 申請號: 202011473256.6
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112501685B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 吳春生;羅漢昌;姜宏偉
• 申請（專利權）人: 南京晶能半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張弛

1.一種水冷屏對中組件，其特征在于，包括水冷屏、位于水冷屏外圍的熱場組件、位于水冷屏下方的托盤、安裝在水冷屏底部的對中圓盤、安裝在對中圓盤與托盤之間的對中工裝伸縮支架、安裝在水冷屏上部的吊裝調節固定裝置、同樣安裝在對中圓盤與托盤之間的相機支架；所述相機支架上設有云臺相機；

所述云臺相機的攝像頭面對水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙；通過轉動托盤而帶動對中圓盤、相機支架及云臺相機轉動，云臺相機拍攝多個角度的水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙；

所述水冷屏上部兩側分別延伸出對稱設置的進水管及出水管；進水管及出水管的上部均安裝有吊裝調節固定裝置；

所述吊裝調節固定裝置包括外殼、位于外殼上端的頂蓋、位于外殼下端的底蓋、位于外殼內的波紋管；波紋管的底部安裝在底蓋上，且底蓋上具有與波紋管內部連通的開口；水管自上而下貫穿頂蓋和底蓋并自底蓋的開口延伸出，水管在外殼內的部分自上而下穿過波紋管，所述波紋管上部設有與水管外表面之間配合的密封件；所述水管為進水管和出水管；

吊裝調節固定裝置內還設有調整水管的調節機構，該調節機構通過螺紋轉動對水管高低調節。

2.根據權利要求1所述的水冷屏對中組件，其特征在于：所述云臺相機具有無線傳輸功能，并將圖像傳輸至移動端。

3.一種使用如權利要求1或2所述水冷屏對中組件的對中方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將水冷屏對中工裝伸縮支架嵌入托盤定位臺階上；

(2)將水冷屏底部嵌入至對中圓盤上設置的定位臺階；

(3)上升托盤到預定位置；

(4)在水冷屏的進水管與出水管上安裝吊裝調節固定裝置；

(5)下降托盤使對中圓盤下降而與水冷屏脫離，此時水冷屏依靠吊裝調節固定裝置懸掛于熱場組件內；

(6)通過云臺相機轉動的觀察和檢測水冷屏底部側緣與熱場組件之間的空隙，通過吊裝調節固定裝置微調水冷屏位置直至水冷屏底部側緣與熱場組件之間任一個角度的空隙均符合預設值要求。