[發(fā)明專利]裸片拾取方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011472641.9
• 申請(qǐng)日: 2020-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112599467B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳鵬;李明亮;曾心如;苗健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京英思普睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 16018
• 代理人: 劉瑩;聶國(guó)斌

1.一種裸片拾取方法，其中，所述裸片粘接在劃片膜的第一側(cè)面上的粘接區(qū)內(nèi)，其特征在于，所述方法包括：

在所述劃片膜的相對(duì)于所述第一側(cè)面的第二側(cè)面，向所述第一側(cè)面的方向施加用于同步推動(dòng)所述劃片膜的所述粘接區(qū)的多個(gè)推動(dòng)力，以將所述粘接區(qū)內(nèi)的所述裸片推頂至第一位置；

從所述第一側(cè)面向位于所述第一位置的所述裸片施加遠(yuǎn)離所述劃片膜的吸附力；

去除所述多個(gè)推動(dòng)力中的至少一部分推動(dòng)力；以及

使所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓，且所述粘接區(qū)處的氣壓的值與所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的值之比在1至1.2之間，以使所述裸片與所述劃片膜剝離；

其中，所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)氣壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述去除所述多個(gè)推動(dòng)力中的至少一部分推動(dòng)力的步驟包括：

按照從所述粘接區(qū)的外周至中心的次序去除施加到所述粘接區(qū)的所述推動(dòng)力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述使所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟包括：

在所述去除所述多個(gè)推動(dòng)力中的至少一部分推動(dòng)力時(shí)，向所述粘接區(qū)噴射氣體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述使所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟包括：

利用與所述第一側(cè)面密閉配合并容納所述裸片的氣壓室，通過(guò)增加所述氣壓室的氣壓使得所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟。

5.一種裸片拾取方法，其中，所述裸片粘接在劃片膜的第一側(cè)面上的粘接區(qū)內(nèi)，其特征在于，所述方法包括：

在所述劃片膜的相對(duì)于所述第一側(cè)面的第二側(cè)面，向所述第一側(cè)面的方向施加用于推動(dòng)所述劃片膜的所述粘接區(qū)的推動(dòng)力，以將所述粘接區(qū)內(nèi)的所述裸片推頂至第一位置；

從所述第一側(cè)面向位于所述第一位置的所述裸片施加遠(yuǎn)離所述劃片膜的吸附力；以及

去除施加到所述粘接區(qū)的所述推動(dòng)力，并使所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓且所述粘接區(qū)處的氣壓的值與所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的值之比在1至1.2之間，以使所述裸片與所述劃片膜剝離；

其中，所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)氣壓。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述使粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟包括：

在所述去除施加到所述粘接區(qū)的所述推動(dòng)力時(shí)，向所述粘接區(qū)噴射氣體。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述使所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟包括：

利用與所述第一側(cè)面密閉配合并容納所述裸片的氣壓室，通過(guò)增加所述氣壓室的氣壓使得所述粘接區(qū)處的氣壓大于所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓的步驟。

8.一種裸片拾取裝置，其特征在于，包括：

支撐臺(tái)，用于支撐劃片膜，所述劃片膜的第一側(cè)面上的粘接區(qū)內(nèi)粘接有裸片；

推動(dòng)機(jī)構(gòu)，位于所述支撐臺(tái)的內(nèi)部，包括從外周至中心排布的多個(gè)推動(dòng)塊，所述多個(gè)推動(dòng)塊被配置為從所述劃片膜的第二側(cè)面向所述第一側(cè)面的方向同步推動(dòng)所述劃片膜的所述粘接區(qū)，以將所述粘接區(qū)內(nèi)的所述裸片推頂至第一位置，其中所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相對(duì)；以及

拾取機(jī)構(gòu)，位于所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)的上方，被配置為吸附由所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)推頂至所述第一位置的所述裸片；

調(diào)壓機(jī)構(gòu)，位于所述支撐臺(tái)的上方，所述調(diào)壓機(jī)構(gòu)被配置為使所述粘接區(qū)處的氣壓的值與所述劃片膜的所述第二側(cè)面處的氣壓的值之比在1至1.2之間，所述劃片膜的第二側(cè)面處的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)氣壓；

其中，所述多個(gè)推動(dòng)塊還被配置為在所述拾取機(jī)構(gòu)吸附所述裸片后退回，以使所述裸片與所述劃片膜剝離。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述多個(gè)推動(dòng)塊被配置為按照從外周至中心的次序依次退回。