[發明專利]一種取樣裝置在審
| 申請號: | 202011471588.0 | 申請日: | 2020-12-14 |
| 公開(公告)號: | CN112683586A | 公開(公告)日: | 2021-04-20 |
| 發明(設計)人: | 李在桓 | 申請(專利權)人: | 西安奕斯偉硅片技術有限公司;西安奕斯偉材料技術有限公司 |
| 主分類號: | G01N1/10 | 分類號: | G01N1/10;B08B3/02;B08B9/093;B08B13/00 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 胡影;李紅標 |
| 地址: | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 取樣 裝置 | ||
1.一種取樣裝置,其特征在于,包括:
箱體,所述箱體內限定有第一腔室和第二腔室,所述第一腔室與所述第二腔室連通;
取樣結構,所述取樣結構設置于所述第一腔室中;
機械臂,所述機械臂上設有夾爪,所述夾爪在所述第一腔室與所述第二腔室中可移動;
清洗結構,所述清洗結構設在所述第二腔室中。
2.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述箱體上設有擋板,所述擋板在第一位置與第二位置之間移動,當所述擋板位于所述第一位置時,所述擋板隔斷所述第一腔室與所述第二腔室;當所述擋板位于所述第二位置時,所述第一腔室與所述第二腔室連通。
3.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述取樣結構包括取樣管,所述取樣管可活動。
4.根據權利要求3所述的取樣裝置,其特征在于,所述取樣管上設有調節閥以導通或關閉所述取樣管。
5.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述箱體的底部設有承載板,所述承載板與所述箱體的底壁間隔開,所述承載板上設有通孔。
6.根據權利要求5所述的取樣裝置,其特征在于,所述清洗結構包括至少一個噴嘴,所述噴嘴位于所述承載板的上方。
7.根據權利要求1或5所述的取樣裝置,其特征在于,所述箱體的底壁上設有排出口。
8.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述夾爪圍繞第一軸線可旋轉,所述第一軸線與所述箱體的底壁垂直。
9.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述夾爪沿上下方向可移動。
10.根據權利要求1所述的取樣裝置,其特征在于,所述機械臂包括第一機械臂和第二機械臂,所述第二機械臂設在所述第一機械臂上,所述第二機械臂的至少部分可在所述第一腔室與所述第二腔室中移動,所述夾爪設在所述第二機械臂上。
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