[發(fā)明專利]一種納米FeCx

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011471267.0
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112626491B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜立永;何冬梅;丁玉強
• 申請（專利權(quán)）人: 江南大學(xué)
• 主分類號: C23C16/32
• 分類號: C23C16/32;C23C16/455
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 23211
• 代理人: 林娟

1.一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：將襯底放置于原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔中，在真空條件下，以脈沖形式向反應(yīng)腔中通入氣相Fe前驅(qū)體進行沉積，單個脈沖的持續(xù)時間為0.1～20s，沉積溫度為150～320℃，得到沉積有Fe前驅(qū)體的襯底；然后向體系中充入惰性氣體進行吹掃清洗；清洗后，將氣相碳源以脈沖形式通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔，與沉積在襯底上的Fe前驅(qū)體進行單原子反應(yīng)，得到含單原子層FeC_x納米材料的襯底；最后再向體系中充入惰性氣體進行吹掃清洗，即完成一個ALD生長循環(huán)；重復(fù)ALD生長循環(huán)0～2000次，即可得到生長有一定厚度的納米FeC_x材料的襯底；

其中，所述碳源為甲醇、乙醇、丙醇、丁醇中的一種或幾種；所述Fe前驅(qū)體為具有式1所示結(jié)構(gòu)的化合物，

其中R，R₁表示異丙基、仲丁基、異丁基中的任意一種，R，R₁相同或不同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述襯底包括硅、氧化硅、氮化硅、TaN中的一種或幾種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述以脈沖形式向反應(yīng)腔中通入氣相Fe前驅(qū)體的單個脈沖的持續(xù)時間為1～15s。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述氣相Fe前驅(qū)體在載氣存在條件下以脈沖形式通入，所述載氣的流量為10～200sccm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4任一所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，氣相碳源在載氣存在條件下以脈沖形式通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔，所述載氣的流量為20～200sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述載氣為高純氮氣或高純氬氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，所述載氣為高純氮氣或高純氬氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～2、4或6～7任一所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，將氣相碳源以脈沖形式通入反應(yīng)腔的單個脈沖的持續(xù)時間為0.1～20s。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，將氣相碳源以脈沖形式通入反應(yīng)腔的單個脈沖的持續(xù)時間為0.1～20s。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，將氣相碳源以脈沖形式通入反應(yīng)腔的單個脈沖的持續(xù)時間為0.1～20s。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～2、4、6～7或9～10任一所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，循環(huán)的次數(shù)為100～2000次。

12.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，循環(huán)的次數(shù)為100～2000次。

13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，循環(huán)的次數(shù)為100～2000次。

14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種納米FeC_x材料的制備方法，其特征在于，循環(huán)的次數(shù)為100～2000次。