[發明專利]提高合束參數檢測精度的標校光路和標校方法

在審

• 申請號: 202011467030.5
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112284531A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 劉麗娜;安振杰;孫亮;劉英智
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J1/02;G01J1/04
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 馬倩

1.一種提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：包括完成多路激光合束的合束裝置（1），將合光束反射至主激光系統（2）的主導光鏡（3），主導光鏡（3）的漏光光路上設置監視分光鏡（4），監視分光鏡（4）的兩路發射光路上分別設置檢測分光鏡（5）和合束觀測裝置；所述檢測分光鏡（5）的發射光路上分別設置指向檢測裝置（7）和位置檢測裝置（8）。

2.根據權利要求1所述的提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：所述合束觀測裝置為長距離傳輸裝置（6）。

3.根據權利要求2所述的提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：所述長距離傳輸裝置（6）包括多組反射鏡，反射鏡之間采用往返式反射傳輸方式。

4.根據權利要求1所述的提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：所述監視分光鏡（4）和檢測分光鏡（5）均為50%分光鏡，且分光鏡的楔角小于0.05度。

5.根據權利要求1所述的提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：所述指向檢測裝置（7）包括縮束光管和波長選通及衰減單元，兩者配合實現多波段激光位置的順次監測。

6.根據權利要求1所述的提高合束參數檢測精度的標校光路，其特征在于：所述位置檢測裝置（8）包括平行光管和波長選通及衰減單元，兩者配合實現多波段激光指向的順次監測。

7. 應用權利要求1~6之一所述的提高合束參數檢測精度的標校光路的標校方法，其特征在于：包括以下步驟：

（Ⅰ）激光束的精準合束

調整合束裝置中的反射鏡，并通過合束觀測裝置確認，完成對多束激光束的精準合束；

（Ⅱ）基準激光束的參數調整

選擇基準激光束通過標校光路，調節CCD相機的積分時間和增益，直至基準激光束的光斑輪廓完整、形狀清晰、位置穩定，且無飽和現象，記錄CCD相機的積分時間和增益；

（Ⅲ）基準激光束的信息采集

通過指向檢測裝置和位置檢測裝置完成對基準激光束的指向與位置信息的采集；

（Ⅳ）其余激光束的參數調整

選擇其余激光束依次通過標校光路，調節CCD相機的積分時間和增益，直至激光束光斑脫靶量符合標準，記錄CCD相機的積分時間和增益；

（Ⅴ）數據更新

將控制系統中原有參數數值變更未前述步驟采集的參數數值，并保存；

（Ⅵ）重啟控制系統

重啟控制系統，重新選通多束激光束，CCD相機的積分時間和增益更新為標記值，即完成合束激光參數監測裝置的應用標校。

8.根據權利要求7所述的提高合束參數檢測精度的標校方法，其特征在于：所述步驟（Ⅱ）中的基準激光束的光斑包括指向檢測裝置和位置檢測裝置的兩個光斑。

9.根據權利要求7所述的提高合束參數檢測精度的標校方法，其特征在于：所述步驟（Ⅳ）中激光束光斑脫靶量標準為：指向脫靶量均小于5，位置脫靶量均小于10。

10.根據權利要求7所述的提高合束參數檢測精度的標校方法，其特征在于：所述標校方法的標校對象為功率小于5W的激光和滿功率激光。