[發明專利]一種半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 202011466955.8
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112621210B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 張龍;謝石富
• 申請（專利權）人: 無錫奧普特自動化技術有限公司
• 主分類號: B23P21/00
• 分類號: B23P21/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅;陳麗麗

1.一種半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，包括：

獲取FAC鏡的鏡盒放置位置；

根據所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預設的泵源殼體內通道位置生成鏡夾控制信號，所述鏡夾控制信號用于控制鏡夾從所述FAC鏡的鏡盒放置位置依次夾取FAC鏡并運送至泵源殼體內的相應通道位置；

對到達泵源殼體內的相應通道位置的FAC鏡進行找光對準；

將對準后的FAC鏡進行固定；

所述對到達泵源殼體內的相應通道位置的FAC鏡進行找光對準，包括：

獲取遠近場光斑機采集到的光斑圖像；

根據光斑圖像的光斑參數調整鏡夾的移動，直至所述光斑參數滿足對準條件，其中所述對準條件包括：光斑位于中心位置、光斑收斂至小形狀、光斑尾部收斂且上下均勻以及光斑傾斜角為零；

所述根據光斑圖像的光斑參數調整鏡夾的移動，直至所述光斑參數滿足對準條件，包括：

控制鏡夾沿y軸方向上下移動，并通過遠近場光斑機的光強參數判定調節補償，以滿足光斑位于中心位置；

控制鏡夾沿z軸方向前后移動，并通過遠近場光斑機調節焦距，以滿足光斑收斂至最小形狀；

控制鏡夾繞pitch軸旋轉，以滿足光斑尾部收斂且上下均勻；

控制鏡夾繞R軸旋轉，以滿足光斑傾斜角度為零。

2.根據權利要求1所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，所述獲取FAC鏡的鏡盒放置位置，包括：

根據驅動馬達的移動位置分析得到所述FAC鏡的鏡盒放置位置。

3.根據權利要求1所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，所述根據所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預設的泵源殼體內通道位置生成鏡夾控制信號，包括：

根據FAC鏡的鏡盒采集圖像分析得到FAC鏡的鏡盒分布以及待夾取的FAC鏡所在的鏡盒區域；

根據待夾取的FAC鏡所在的鏡盒區域以及預設的泵源殼體內的當前待放置通道位置生成當前鏡夾控制信號，

重復上述過程。

4.根據權利要求3所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，所述根據所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預設的泵源殼體內通道位置生成鏡夾控制信號，還包括：

對鏡夾夾取的FAC鏡的位置進行準直對準。

5.根據權利要求4所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，所述對鏡夾夾取的FAC鏡的位置進行準直對準，包括：

控制鏡夾的俯仰角以及繞豎直方向的旋轉角度；

根據紅光接收器的紅光核心光斑位置是否發生偏移判斷FAC鏡的位置是否處于標準。

6.根據權利要求1所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，所述將對準后的FAC鏡進行固定，包括：

將對準后的FAC鏡進行點膠固定；

控制FAC鏡的鏡夾進行回位置校準；

對點膠后的FAC鏡進行UV固化。

7.一種半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配裝置，用于實現權利要求1至6中任意一項所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配方法，其特征在于，包括：

獲取模塊，用于獲取FAC鏡的鏡盒放置位置；

控制模塊，用于根據所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預設的泵源殼體內通道位置生成鏡夾控制信號，所述鏡夾控制信號用于控制鏡夾從所述FAC鏡的鏡盒放置位置依次夾取FAC鏡并運送至泵源殼體內的相應通道位置；

找光對準模塊，用于對到達泵源殼體內的相應通道位置的FAC鏡進行找光對準；

固定模塊，用于將對準后的FAC鏡進行固定。

8.一種半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配系統，其特征在于，包括：控制器、驅動馬達、定位用相機、準直相機、遠近場光斑機、功率計、傳感器、點膠機、UV光源和權利要求7所述的半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配裝置，所述控制器、功率計、遠近場光斑機、定位用相機和準直相機均與所述半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配裝置通信連接，所述傳感器與所述功率計通信連接，所述驅動馬達、UV光源和點膠機與所述控制器連接；

所述驅動馬達用于控制多個維度的電機，以實現驅動鏡夾的移動；

所述控制器用于接收所述半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配裝置的控制信號，并生成對驅動馬達、點膠機以及UV光源控制的驅動信號；

所述點膠機用于實現點膠；

所述UV光源用于實現UV膠固化；

所述定位用相機用于采集鏡夾夾取FAC鏡過程中的位置的圖像；

所述準直相機用于對鏡夾夾取FAC鏡后FAC鏡在鏡夾上的位置進行校準；

所述遠近場光斑機用于對放置在泵源殼體內的相應通道位置處的FAC鏡進行找光對準；

所述功率計用于將所述傳感器的壓力值從模擬信號轉換為數字信號傳給所述半導體泵源殼體內的FAC鏡自動裝配裝置；

所述傳感器用于檢測鏡夾夾取FAC鏡的壓力。