[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法、裝置及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011466955.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112621210B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張龍;謝石富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫奧普特自動(dòng)化技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B23P21/00
• 分類號(hào): B23P21/00
• 代理公司: 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅;陳麗麗

1.一種半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，包括：

獲取FAC鏡的鏡盒放置位置；

根據(jù)所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預(yù)設(shè)的泵源殼體內(nèi)通道位置生成鏡夾控制信號(hào)，所述鏡夾控制信號(hào)用于控制鏡夾從所述FAC鏡的鏡盒放置位置依次夾取FAC鏡并運(yùn)送至泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置；

對(duì)到達(dá)泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置的FAC鏡進(jìn)行找光對(duì)準(zhǔn)；

將對(duì)準(zhǔn)后的FAC鏡進(jìn)行固定；

所述對(duì)到達(dá)泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置的FAC鏡進(jìn)行找光對(duì)準(zhǔn)，包括：

獲取遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)采集到的光斑圖像；

根據(jù)光斑圖像的光斑參數(shù)調(diào)整鏡夾的移動(dòng)，直至所述光斑參數(shù)滿足對(duì)準(zhǔn)條件，其中所述對(duì)準(zhǔn)條件包括：光斑位于中心位置、光斑收斂至小形狀、光斑尾部收斂且上下均勻以及光斑傾斜角為零；

所述根據(jù)光斑圖像的光斑參數(shù)調(diào)整鏡夾的移動(dòng)，直至所述光斑參數(shù)滿足對(duì)準(zhǔn)條件，包括：

控制鏡夾沿y軸方向上下移動(dòng)，并通過(guò)遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)的光強(qiáng)參數(shù)判定調(diào)節(jié)補(bǔ)償，以滿足光斑位于中心位置；

控制鏡夾沿z軸方向前后移動(dòng)，并通過(guò)遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)調(diào)節(jié)焦距，以滿足光斑收斂至最小形狀；

控制鏡夾繞pitch軸旋轉(zhuǎn)，以滿足光斑尾部收斂且上下均勻；

控制鏡夾繞R軸旋轉(zhuǎn)，以滿足光斑傾斜角度為零。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，所述獲取FAC鏡的鏡盒放置位置，包括：

根據(jù)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的移動(dòng)位置分析得到所述FAC鏡的鏡盒放置位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，所述根據(jù)所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預(yù)設(shè)的泵源殼體內(nèi)通道位置生成鏡夾控制信號(hào)，包括：

根據(jù)FAC鏡的鏡盒采集圖像分析得到FAC鏡的鏡盒分布以及待夾取的FAC鏡所在的鏡盒區(qū)域；

根據(jù)待夾取的FAC鏡所在的鏡盒區(qū)域以及預(yù)設(shè)的泵源殼體內(nèi)的當(dāng)前待放置通道位置生成當(dāng)前鏡夾控制信號(hào)，

重復(fù)上述過(guò)程。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，所述根據(jù)所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預(yù)設(shè)的泵源殼體內(nèi)通道位置生成鏡夾控制信號(hào)，還包括：

對(duì)鏡夾夾取的FAC鏡的位置進(jìn)行準(zhǔn)直對(duì)準(zhǔn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，所述對(duì)鏡夾夾取的FAC鏡的位置進(jìn)行準(zhǔn)直對(duì)準(zhǔn)，包括：

控制鏡夾的俯仰角以及繞豎直方向的旋轉(zhuǎn)角度；

根據(jù)紅光接收器的紅光核心光斑位置是否發(fā)生偏移判斷FAC鏡的位置是否處于標(biāo)準(zhǔn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，所述將對(duì)準(zhǔn)后的FAC鏡進(jìn)行固定，包括：

將對(duì)準(zhǔn)后的FAC鏡進(jìn)行點(diǎn)膠固定；

控制FAC鏡的鏡夾進(jìn)行回位置校準(zhǔn)；

對(duì)點(diǎn)膠后的FAC鏡進(jìn)行UV固化。

7.一種半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配裝置，用于實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配方法，其特征在于，包括：

獲取模塊，用于獲取FAC鏡的鏡盒放置位置；

控制模塊，用于根據(jù)所述FAC鏡的鏡盒放置位置以及預(yù)設(shè)的泵源殼體內(nèi)通道位置生成鏡夾控制信號(hào)，所述鏡夾控制信號(hào)用于控制鏡夾從所述FAC鏡的鏡盒放置位置依次夾取FAC鏡并運(yùn)送至泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置；

找光對(duì)準(zhǔn)模塊，用于對(duì)到達(dá)泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置的FAC鏡進(jìn)行找光對(duì)準(zhǔn)；

固定模塊，用于將對(duì)準(zhǔn)后的FAC鏡進(jìn)行固定。

8.一種半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配系統(tǒng)，其特征在于，包括：控制器、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、定位用相機(jī)、準(zhǔn)直相機(jī)、遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)、功率計(jì)、傳感器、點(diǎn)膠機(jī)、UV光源和權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配裝置，所述控制器、功率計(jì)、遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)、定位用相機(jī)和準(zhǔn)直相機(jī)均與所述半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配裝置通信連接，所述傳感器與所述功率計(jì)通信連接，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、UV光源和點(diǎn)膠機(jī)與所述控制器連接；

所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用于控制多個(gè)維度的電機(jī)，以實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)鏡夾的移動(dòng)；

所述控制器用于接收所述半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配裝置的控制信號(hào)，并生成對(duì)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、點(diǎn)膠機(jī)以及UV光源控制的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；

所述點(diǎn)膠機(jī)用于實(shí)現(xiàn)點(diǎn)膠；

所述UV光源用于實(shí)現(xiàn)UV膠固化；

所述定位用相機(jī)用于采集鏡夾夾取FAC鏡過(guò)程中的位置的圖像；

所述準(zhǔn)直相機(jī)用于對(duì)鏡夾夾取FAC鏡后FAC鏡在鏡夾上的位置進(jìn)行校準(zhǔn)；

所述遠(yuǎn)近場(chǎng)光斑機(jī)用于對(duì)放置在泵源殼體內(nèi)的相應(yīng)通道位置處的FAC鏡進(jìn)行找光對(duì)準(zhǔn)；

所述功率計(jì)用于將所述傳感器的壓力值從模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)傳給所述半導(dǎo)體泵源殼體內(nèi)的FAC鏡自動(dòng)裝配裝置；

所述傳感器用于檢測(cè)鏡夾夾取FAC鏡的壓力。