[發(fā)明專利]HJT太陽能電池TCO薄膜、其制備方法及包含該薄膜的電池片

在審

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• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN112687753A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 解觀超;王永謙;林綱正;陳剛
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;天津愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/0224
• 分類號(hào): H01L31/0224;H01L31/0747;H01L31/18;H01L31/20
• 代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 44104
• 代理人: 高文龍

本發(fā)明公開了HJT太陽能電池TCO薄膜、其制備方法及包含該薄膜的電池片，該TCO薄膜包含第一膜層、第二膜層及第三膜層，第二膜層位于第一膜層與第三膜層之間，所述第一膜層的透光率大于第三膜層，第一膜層的導(dǎo)電率小于第三膜層，所述第二膜層的透光率及導(dǎo)電率介于第一膜層及第二膜層之間。該TCO薄膜中各膜層的透光率和導(dǎo)電率不同，通過改善光透過率與導(dǎo)電性能的匹配，提高HJT電池的電性能。本發(fā)明同時(shí)公開了該TCO薄膜的制備方法及包含該薄膜的電池片。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電池結(jié)構(gòu)及其制備方法，具體是指HJT太陽能電池TCO薄膜、其制備方法及包含該薄膜的電池片。

背景技術(shù)

能源是現(xiàn)代社會(huì)發(fā)展的基石，隨著全球經(jīng)濟(jì)社會(huì)的不斷發(fā)展，能源消費(fèi)也持續(xù)增長，隨著時(shí)間的變遷，化石能源越來越來稀缺，在化石能源緊張的背景下，大規(guī)模的開發(fā)和發(fā)明可再生資源已成為未來能源的重要戰(zhàn)略，太陽能是最潔凈的清潔能源，可再生能源。

太陽能電池是太陽能發(fā)電的核心部分，HJT太陽能電池作為新型的太陽能電池，其TCO薄膜對電池的電性能具有重要作用。

現(xiàn)有HJT太陽能電池TCO薄膜一般采用PVD沉積法，在電池襯底雙面鍍膜。但是現(xiàn)有HJT太陽能電池TCO薄膜上靶材1-n號(hào)靶材采用相同的In₂O₃/SnO₂比，下靶材1-n號(hào)靶材也采用相同的In₂O₃/SnO₂比，制作的TCO薄膜層材質(zhì)成分單一，不能將TCO薄膜的光透過率與導(dǎo)電性能匹配最優(yōu)化，不能獲得最佳的太陽能電池性能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一是提供一種HJT太陽能電池TCO薄膜，該TCO薄膜中各膜層的透光率和導(dǎo)電率不同，通過改善光透過率與導(dǎo)電性能的匹配，提高HJT電池的電性能。

本發(fā)明的這一目的通過如下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：HJT太陽能電池TCO薄膜，包含第一膜層、第二膜層及第三膜層，第二膜層位于第一膜層與第三膜層之間，其特征在于，所述第一膜層的透光率大于第三膜層，第一膜層的導(dǎo)電率小于第三膜層，所述第二膜層的透光率及導(dǎo)電率介于第一膜層及第二膜層之間。

本發(fā)明的TCO薄膜，第一膜層為光透過率高膜層，第二膜層為光透過率與導(dǎo)電性能兼顧膜層，第三膜層為導(dǎo)電性能好膜層，各膜層采用不同的靶材制成，使得TCO薄膜具有不同的光透過率和導(dǎo)電性。

本發(fā)明中，所述第一膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為99:10的靶材制成；所述第二膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為99:1的靶材制成。

本發(fā)明中，所述TCO薄膜為正面TCO薄膜，所述的第二膜層為復(fù)合層，由第四膜層及第五膜層復(fù)合而成，其中，第四膜層與第三膜層相貼附，第四膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為95:5的靶材制成；第五膜層與第一膜層相貼附，第五膜層由In₂O₃/WO₃質(zhì)量比為99:1的靶材制成。

該正面TCO薄膜的中間膜層為復(fù)合層，由第四膜層及第五膜層復(fù)合而成，其中，第四膜層為內(nèi)層光透過率與導(dǎo)電性能兼顧膜層，第五膜層為外層光透過率與導(dǎo)電性能兼顧膜層。

本發(fā)明中，所述TCO薄膜為背面TCO薄膜，所述的第一膜層由In₂O₃/WO₃質(zhì)量比為99:1的靶材制成。