[發(fā)明專(zhuān)利]HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜、其制備方法及包含該薄膜的電池片

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011465226.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112687753A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 解觀超;王永謙;林綱正;陳剛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司;天津愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司;廣東愛(ài)旭科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/0224
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/0224;H01L31/0747;H01L31/18;H01L31/20
• 代理公司: 廣州知友專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44104
• 代理人: 高文龍

1.一種HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜，包含第一膜層、第二膜層及第三膜層，第二膜層位于第一膜層與第三膜層之間，其特征在于，所述第一膜層的透光率大于第三膜層，第一膜層的導(dǎo)電率小于第三膜層，所述第二膜層的透光率及導(dǎo)電率介于第一膜層及第二膜層之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜，其特征在于：所述第一膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為99:10的靶材制成；所述第二膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為99:1的靶材制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜，其特征在于：所述TCO薄膜為正面TCO薄膜，所述的第二膜層為復(fù)合層，由第四膜層及第五膜層復(fù)合而成，其中，第四膜層與第三膜層相貼附，第四膜層由In₂O₃/SnO₂質(zhì)量比為95:5的靶材制成；第五膜層與第一膜層相貼附，第五膜層由In₂O₃/WO₃質(zhì)量比為99:1的靶材制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜，其特征在于：所述TCO薄膜為背面TCO薄膜，所述的第二膜層由In₂O₃/WO₃質(zhì)量比為99:1的靶材制成。

5.HJT太陽(yáng)能電池TCO薄膜的制備方法，其特征在于，該方法依次包括如下步驟：

步驟(1)：選取HJT太陽(yáng)能電池襯底；

步驟(2)：將襯底加熱到鍍膜工藝所需的溫度；

步驟(3)、對(duì)襯底進(jìn)行正面鍍膜，形成正面TCO薄膜：

(31)首先采用In₂O₃/SnO₂靶材，生長(zhǎng)形成正面第三膜層；

(32)然后采用In₂O₃/SnO₂靶材，生長(zhǎng)形成第四膜層；

(33)然后采用In₂O₃/WO₃靶材，生長(zhǎng)形成第五膜層；

(34)最后采用In₂O₃/SnO₂靶材，生長(zhǎng)形成正面第一膜層；

步驟(4)、對(duì)襯底進(jìn)行背面鍍膜，形成背面TCO薄膜：

(41)首先采用In₂O₃/SnO₂靶材，生長(zhǎng)形成背面第三膜層；

(42)然后采用In₂O₃/WO₃靶材，生長(zhǎng)形成背面第二膜層；

(43)最后采用In₂O₃/SnO₂靶材，生長(zhǎng)形成背面第一膜層；

步驟(5)：將雙面鍍膜完成的電池片進(jìn)行冷卻，完成TCO薄膜的制作；

其中，步驟(3)和步驟(4)的順序可以互換。