[發(fā)明專利]全自動老化測試上下料系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011463750.4
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN112520413B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設計）人: 何潤;嚴海忠
• 申請（專利權）人: 蘇州乾鳴半導體設備有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 北京同恒源知識產(chǎn)權代理有限公司 11275
• 代理人: 楊慧紅

1.一種全自動老化測試上下料系統(tǒng)，其特征在于：包括機架(1)，還包括

芯片上下料機構(2)，連接于機架(1)，用于料盤與中轉治具(3)之間的芯片往返運送；

中轉治具(3)，連接于機架(1)，用于臨時放置待測芯片和測試完成的芯片；

芯片調(diào)整運送模組(4)，連接于機架(1)，用于調(diào)整芯片之間的間距，并將待測芯片由中轉治具(3)運送至中轉站(5)，以及將測試完成的芯片由中轉站(5)運送至中轉治具(3)；

中轉站(5)，連接于機架(1)，用于放置待測芯片或測試完成的芯片的老化板，并且用于中轉站(5)與升降上下料平臺(6)之間老化板的運送；

升降上下料平臺(6)，連接于機架(1)，用于將裝載有待測芯片的老化板運送至多層推車(7)，或從多層推車(7)將裝載有測試完成的芯片的老化板運送至中轉站(5)；

多層推車(7)，可與升降上下料平臺(6)對接，在地面移動，用于中轉站(5)與老化測試機之間老化板的運送；

所述芯片上下料機構(2)包括

滑動底座(201)，滑動底座（201）與水平滑軌（11）滑動連接，沿著水平滑軌（11）往返滑動；

滑動驅動組件(203)，連接于機架(1)，用于驅動滑動底座(201)沿著水平滑軌（11）滑動方向往返滑動；

升降底座(204)，與滑動底座(201)滑動連接；

第一升降驅動組件(205)，連接于滑動底座(201)，驅動升降底座(204)進行升降；

吸嘴氣缸(206)，連接于升降底座(204)，用于吸附芯片并帶動芯片移動；

所述中轉治具(3)包括

導向柱(306)，連接于安裝架(13)；

移動臺(307)，與導向柱(306)滑動連接；

芯片放置座(308)，與移動臺(307)連接，與導向柱(306)方向垂直，且設置兩排；

驅動件(309)，驅動移動臺(307)沿著導向柱(306)滑動；

所述中轉站(5)包括

升降支架(52)，連接于機架(1)；

開蓋壓板(53)，與升降支架(52)滑動連接，可抵壓老化板以打開老化板的翻蓋；

驅動部(54)，連接于機架(1)，用于驅動開蓋壓板(53)沿著升降支架(52)升降；

導向組件(55)，連接于機架(1)，用于支撐老化板和限定老化板移動方向；

第一移栽模組(56)，連接于機架(1)，可沿著老化板運送方向往返動作；

第一推送組件(57)，連接于第一移栽模組(56)，在第一移栽模組(56)的驅動下推送或帶回老化板；

所述升降上下料平臺(6)包括

導向軌道(62)，連接于機架(1)；

升降臺(63)，與導向軌道(62)連接，設置兩層推送層(631)，推送層(631)分別用于放置待測芯片的老化板或測試完成的芯片的老化板；

第二升降驅動組件(64)，連接于機架(1)，驅動升降臺(63)升降；

第二移栽模組(65)，設置于每層推送層(631)，可沿著老化板運送方向往返動作；

第二推送組件(66)，連接于第二移栽模組(65)，在第二移栽模組(65)驅動下往返推送或帶回老化板；

所述多層推車(7)包括

柜體(71)，所述柜體(71)底部連接滑輪(75)，還包括

支撐架(72)，連接于柜體(71)兩側，設置有若干層，用于放置老化板；

傳送機構(73)，連接于支撐架(72)，用于推送老化板進入老化測試機；

上頂勾料機構(74)，連接于機架(1)，用于勾拉老化板將老化板從老化測試機移出。

2.根據(jù)權利要求1所述的全自動老化測試上下料系統(tǒng)，其特征在于：所述芯片調(diào)整運送模組(4)包括

固定板(41)，設置有直線導軌(411)；

移動吸嘴組件(42)，連接于固定板(41)，并沿著直線導軌(411)滑動；

導向板(43)，滑動連接于固定板(41)，開設有間距由小變大，可抵壓移動吸嘴組件(42)沿著直線導軌(411)滑動的導向槽(431)；

調(diào)整驅動組件(44)，連接于固定板(41)，用于帶動導向板(43)沿著固定板（41）滑動方向移動。