[發(fā)明專利]全自動(dòng)老化測(cè)試上下料系統(tǒng)及方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011463750.4 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112520413B | 公開(公告)日: | 2022-04-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 何潤(rùn);嚴(yán)海忠 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州乾鳴半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | B65G47/91 | 分類號(hào): | B65G47/91 |
| 代理公司: | 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11275 | 代理人: | 楊慧紅 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市吳*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 全自動(dòng) 老化 測(cè)試 上下 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種全自動(dòng)老化測(cè)試上下料系統(tǒng),其特征在于:包括機(jī)架(1),還包括
芯片上下料機(jī)構(gòu)(2),連接于機(jī)架(1),用于料盤與中轉(zhuǎn)治具(3)之間的芯片往返運(yùn)送;
中轉(zhuǎn)治具(3),連接于機(jī)架(1),用于臨時(shí)放置待測(cè)芯片和測(cè)試完成的芯片;
芯片調(diào)整運(yùn)送模組(4),連接于機(jī)架(1),用于調(diào)整芯片之間的間距,并將待測(cè)芯片由中轉(zhuǎn)治具(3)運(yùn)送至中轉(zhuǎn)站(5),以及將測(cè)試完成的芯片由中轉(zhuǎn)站(5)運(yùn)送至中轉(zhuǎn)治具(3);
中轉(zhuǎn)站(5),連接于機(jī)架(1),用于放置待測(cè)芯片或測(cè)試完成的芯片的老化板,并且用于中轉(zhuǎn)站(5)與升降上下料平臺(tái)(6)之間老化板的運(yùn)送;
升降上下料平臺(tái)(6),連接于機(jī)架(1),用于將裝載有待測(cè)芯片的老化板運(yùn)送至多層推車(7),或從多層推車(7)將裝載有測(cè)試完成的芯片的老化板運(yùn)送至中轉(zhuǎn)站(5);
多層推車(7),可與升降上下料平臺(tái)(6)對(duì)接,在地面移動(dòng),用于中轉(zhuǎn)站(5)與老化測(cè)試機(jī)之間老化板的運(yùn)送;
所述芯片上下料機(jī)構(gòu)(2)包括
滑動(dòng)底座(201),滑動(dòng)底座(201)與水平滑軌(11)滑動(dòng)連接,沿著水平滑軌(11)往返滑動(dòng);
滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件(203),連接于機(jī)架(1),用于驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)底座(201)沿著水平滑軌(11)滑動(dòng)方向往返滑動(dòng);
升降底座(204),與滑動(dòng)底座(201)滑動(dòng)連接;
第一升降驅(qū)動(dòng)組件(205),連接于滑動(dòng)底座(201),驅(qū)動(dòng)升降底座(204)進(jìn)行升降;
吸嘴氣缸(206),連接于升降底座(204),用于吸附芯片并帶動(dòng)芯片移動(dòng);
所述中轉(zhuǎn)治具(3)包括
導(dǎo)向柱(306),連接于安裝架(13);
移動(dòng)臺(tái)(307),與導(dǎo)向柱(306)滑動(dòng)連接;
芯片放置座(308),與移動(dòng)臺(tái)(307)連接,與導(dǎo)向柱(306)方向垂直,且設(shè)置兩排;
驅(qū)動(dòng)件(309),驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)(307)沿著導(dǎo)向柱(306)滑動(dòng);
所述中轉(zhuǎn)站(5)包括
升降支架(52),連接于機(jī)架(1);
開蓋壓板(53),與升降支架(52)滑動(dòng)連接,可抵壓老化板以打開老化板的翻蓋;
驅(qū)動(dòng)部(54),連接于機(jī)架(1),用于驅(qū)動(dòng)開蓋壓板(53)沿著升降支架(52)升降;
導(dǎo)向組件(55),連接于機(jī)架(1),用于支撐老化板和限定老化板移動(dòng)方向;
第一移栽模組(56),連接于機(jī)架(1),可沿著老化板運(yùn)送方向往返動(dòng)作;
第一推送組件(57),連接于第一移栽模組(56),在第一移栽模組(56)的驅(qū)動(dòng)下推送或帶回老化板;
所述升降上下料平臺(tái)(6)包括
導(dǎo)向軌道(62),連接于機(jī)架(1);
升降臺(tái)(63),與導(dǎo)向軌道(62)連接,設(shè)置兩層推送層(631),推送層(631)分別用于放置待測(cè)芯片的老化板或測(cè)試完成的芯片的老化板;
第二升降驅(qū)動(dòng)組件(64),連接于機(jī)架(1),驅(qū)動(dòng)升降臺(tái)(63)升降;
第二移栽模組(65),設(shè)置于每層推送層(631),可沿著老化板運(yùn)送方向往返動(dòng)作;
第二推送組件(66),連接于第二移栽模組(65),在第二移栽模組(65)驅(qū)動(dòng)下往返推送或帶回老化板;
所述多層推車(7)包括
柜體(71),所述柜體(71)底部連接滑輪(75),還包括
支撐架(72),連接于柜體(71)兩側(cè),設(shè)置有若干層,用于放置老化板;
傳送機(jī)構(gòu)(73),連接于支撐架(72),用于推送老化板進(jìn)入老化測(cè)試機(jī);
上頂勾料機(jī)構(gòu)(74),連接于機(jī)架(1),用于勾拉老化板將老化板從老化測(cè)試機(jī)移出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)老化測(cè)試上下料系統(tǒng),其特征在于:所述芯片調(diào)整運(yùn)送模組(4)包括
固定板(41),設(shè)置有直線導(dǎo)軌(411);
移動(dòng)吸嘴組件(42),連接于固定板(41),并沿著直線導(dǎo)軌(411)滑動(dòng);
導(dǎo)向板(43),滑動(dòng)連接于固定板(41),開設(shè)有間距由小變大,可抵壓移動(dòng)吸嘴組件(42)沿著直線導(dǎo)軌(411)滑動(dòng)的導(dǎo)向槽(431);
調(diào)整驅(qū)動(dòng)組件(44),連接于固定板(41),用于帶動(dòng)導(dǎo)向板(43)沿著固定板(41)滑動(dòng)方向移動(dòng)。
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