[發(fā)明專利]一種涂膠機(jī)的噴涂方法以及噴涂系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011459538.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN112619933B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉玉倩;鄭如意;呂磊;陳威;賈月明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): B05B12/00
• 分類號(hào): B05B12/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 劉鳳

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N涂膠機(jī)的噴涂方法以及噴涂系統(tǒng)，其中，所述噴涂方法包括：獲取涂膠機(jī)噴頭的第一運(yùn)動(dòng)軌跡，控制涂膠機(jī)噴頭按照第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；獲取涂膠機(jī)噴頭的第二運(yùn)動(dòng)軌跡，控制涂膠機(jī)噴頭按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；若未達(dá)到噴涂截止條件，則再更新第二運(yùn)動(dòng)軌跡，并按照更新后的第二運(yùn)動(dòng)軌跡重新執(zhí)行步驟控制涂膠機(jī)噴頭按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；其中，第一運(yùn)動(dòng)軌跡和第二運(yùn)動(dòng)軌跡是相同的；第二運(yùn)動(dòng)軌跡至少部分的位于按照第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂所得到的少噴涂區(qū)域中；第一運(yùn)動(dòng)軌跡和第二運(yùn)動(dòng)軌跡相差預(yù)設(shè)距離。這樣一來(lái)，本申請(qǐng)能夠在一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的因疊加產(chǎn)生的均勻性差的問(wèn)題，進(jìn)而提高噴頭噴涂的均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及集成電路設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種涂膠機(jī)的噴涂方法以及噴涂系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，噴霧式涂膠機(jī)一般采用超聲噴頭實(shí)現(xiàn)光刻膠的霧化，由工作臺(tái)帶動(dòng)噴頭對(duì)真空吸附方式固定在承片臺(tái)上的硅片進(jìn)行精密噴涂。噴霧式涂膠機(jī)工作過(guò)程中，硅片以真空吸附方式固定在承片臺(tái)上，噴涂過(guò)程一般由多次的噴涂疊加來(lái)完成，當(dāng)噴頭完成某次噴涂時(shí)，工作臺(tái)帶動(dòng)噴頭到下一次噴涂位置。

現(xiàn)有的涂膠機(jī)噴膠工藝中，每次噴涂起點(diǎn)一致，多次噴涂軌跡完全重合，這樣，一條X向噴涂軌跡在Y向上并不均勻，需X向噴涂軌跡在Y向上相互疊加，由于噴涂軌跡完全重合，會(huì)因疊加造成均勻性誤差累積，從而造成Y向均勻性差的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)的目的在于提供一種涂膠機(jī)的噴涂方法以及噴涂系統(tǒng)，能夠在一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的因疊加產(chǎn)生的均勻性差的問(wèn)題，進(jìn)而提高硅片噴涂的均勻性。

第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N涂膠機(jī)的噴涂方法，所述噴涂方法包括：

獲取涂膠機(jī)噴頭的第一運(yùn)動(dòng)軌跡；

控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；

獲取涂膠機(jī)噴頭的第二運(yùn)動(dòng)軌跡；

控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；

若未達(dá)到噴涂截止條件，則再更新第二運(yùn)動(dòng)軌跡，并按照更新后的第二運(yùn)動(dòng)軌跡重新執(zhí)行步驟控制所述涂膠機(jī)噴頭按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂；其中，所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡和所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡是相同的；所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡至少部分的位于按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂所得到的少噴涂區(qū)域中；所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡和所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡相差預(yù)設(shè)距離；

其中，所述控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂，包括：

控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行第一次噴涂；

當(dāng)?shù)谝淮螄娡拷Y(jié)束后，控制涂膠機(jī)卡盤沿著第一方向旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度；

繼續(xù)控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行第二次噴涂；

當(dāng)?shù)诙螄娡拷Y(jié)束后，控制涂膠機(jī)卡盤沿著與第一方向相反的第二方向旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度。

優(yōu)選地，所述控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂，包括：

控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行第一次噴涂；

當(dāng)?shù)谝淮螄娡拷Y(jié)束后，控制涂膠機(jī)卡盤沿著第一方向旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度；

繼續(xù)控制所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行第二次噴涂；

當(dāng)?shù)诙螄娡拷Y(jié)束后，控制涂膠機(jī)卡盤沿著與第一方向相反的第二方向旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度。

優(yōu)選地，通過(guò)以下步驟判斷是否達(dá)到噴涂截止條件：

獲取所述涂膠機(jī)噴頭的預(yù)設(shè)噴涂總數(shù)；

統(tǒng)計(jì)所述涂膠機(jī)噴頭按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡和按照所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行噴涂的實(shí)時(shí)噴涂總數(shù)；