[發明專利]一種自發光顯示裝置及其制造方法

在審

• 申請號: 202011456515.4
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112563291A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 商慧榮;賴谷皇
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種自發光顯示裝置及其制造方法，自發光顯示裝置包括基板、位于基板上的柵極、覆蓋柵極的柵極絕緣層、位于柵極絕緣層上的溝道層、分別位于溝道層左右兩側的源極和漏極、覆蓋源極和漏極的第一鈍化層、覆蓋柵極絕緣層的第二鈍化層、覆蓋第一鈍化層的第一平坦層、覆蓋第二鈍化層的第二平坦層以及覆蓋第二平坦層的填充層。本發明通過在第二平坦層上方增加填充層，以達到彌補膜厚高低落差的效果，提高背板平坦性，有助于改善自發光器件的打印均勻性，進而提升面板的顯示特性。

技術領域

本發明涉及顯示器的技術領域，特別涉及一種自發光顯示裝置及其制造方法。

背景技術

自發光顯示器以其自發光、低功耗、高對比度、寬視角、響應速度快和利于柔性化等優勢逐漸占據傳統液晶顯示器(LCD)的市場份額，被認為是新一代顯示器件。自發光顯示面板主要由驅動電路背板和自發光器件構成，打印制備的自發光顯示器件對驅動電路背板的平坦度要求很高。基板的平坦度會影響墨水在其上方的流動性和鋪展均勻性，若背板平坦度較差會導致在其上方打印的膜層厚度不均，進而影響發光二級管的光電特性。

受空間限制，自發光顯示器件很難避開驅動電路中的電容和TFT，有無電容或者TFT的地方會有膜厚高度差。現有的單層平坦化膜層，平坦化能力有限，不足以滿足打印自發光器件對驅動背板平坦度的高要求，可能出現墨水涂布不均的問題，進而影響器件的光電特性，使顯示面板產生色偏、mura等顯示缺陷。而單純的增加平坦層的膜厚，對于有平坦層打孔設計的地方，會有膠殘以及走線爬坡斷線的風險。圖1為現有技術自發光顯示器件剖面圖，現有自發光顯示裝置包括基板10、位于基板10上的柵極20、覆蓋柵極的柵極絕緣層30、位于柵極絕緣層30上的溝道層40、分別位于溝道層40左右兩側的源極51和漏極52、覆蓋源極51和漏極52的鈍化層60以及覆蓋鈍化層60的平坦層70，有無TFT或者電容的地方有膜厚差異，將最大落差記為Dmax。

發明內容

本發明的目的是提供一種自發光顯示裝置及其制造方法，旨在補償自發光顯示驅動背板的膜層厚度落差，提高背板平坦性，進而確保自發光器件陽極的平坦度。

本發明提供一種自發光顯示裝置，包括基板、位于基板上的柵極、覆蓋柵極的柵極絕緣層、位于柵極絕緣層上的溝道層、分別位于溝道層左右兩側的源極和漏極、覆蓋源極和漏極的第一鈍化層、覆蓋柵極絕緣層的第二鈍化層、覆蓋第一鈍化層的第一平坦層、覆蓋第二鈍化層的第二平坦層以及覆蓋第二平坦層的填充層。

本發明提供一種自發光顯示裝置的制造方法，包括如下步驟：

S1：在基板上形成柵極；

S2：在步驟S1基礎上，形成覆蓋柵極的柵極絕緣層；

S3：在步驟S2基礎上，形成位于柵極絕緣層上的溝道層；

S4：在步驟S3基礎上，形成分別位于溝道層左右兩側的源極和漏極；

S5：在步驟S4基礎上，形成覆蓋源極和漏極的第一鈍化層和覆蓋柵極絕緣層的第二鈍化層；

S6：在步驟S5基礎上，形成覆蓋第一鈍化層的第一平坦層和覆蓋第二鈍化層的第二平坦層；

S7：在步驟S6基礎上，形成覆蓋第二平坦層的填充層。

進一步，步驟S7填充層的制備包括如下步驟：

S71：在第一平坦層和第二平坦層上涂覆負性光刻膠；

S72：使用制作源極漏極時的第一光罩置于所述負性光刻膠的上方，并對所述負性光刻膠進行曝光處理，位于源極漏極上方的負性光刻膠被除去；

S73：在步驟S72基礎上，使用制作柵極時的第二光罩對被保留的負性光刻膠再次曝光顯影處理，第二平坦層上方的負性光刻膠被保留即填充層。

進一步，步驟S7填充層的制備包括如下步驟：