[發明專利]適用于半導體及顯示面板的無氰化學沉金溶液

有效

• 申請號: 202011454923.6
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN112593220B
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 王江鋒;姚吉豪
• 申請（專利權）人: 深圳市創智成功科技有限公司
• 主分類號: C23C18/44
• 分類號: C23C18/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1. 一種適用于半導體及顯示面板的無氰化學沉金溶液，其特征在于，包括以下質量濃度百分比的組分：

無氰金鹽，以Au離子的含量計為4~5g/L

絡合劑 20~100g/L

還原劑2-5g/L

界面活性劑0.05~0.2g/L

緩沖劑30-60g/L

穩定劑0.2-5mg/L

將上述組分按照配比均勻混合后，用硫酸或者氫氧化鉀調節pH至7~9，余量為水，操作溫度50-90℃；所述絡合劑為亞硫酸鈉、1-(4-乙基苯基)-2-硫脲兩種，兩者使用質量混合比例在0.3~3:1；所述無氰金鹽為亞硫酸金鈉；所述還原劑為維生素C、硼氫化鈉的一種或多種；所述界面活性劑為甲基烯丙基磺酸鈉。

2.根據權利要求1所述的適用于半導體及顯示面板的無氰化學沉金溶液，其特征在于，所述緩沖劑為氯化銨、檸檬酸銨中的一種或兩種。

3.根據權利要求1所述的適用于半導體及顯示面板的無氰化學沉金溶液，其特征在于，所述穩定劑為酒石酸銻鉀。