[發明專利]平坦度測量治具和蒸鍍系統

在審

• 申請號: 202011452670.9
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112595222A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 王洪勝;魏立超;楊林;高翔;沈帥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28;G01B21/30;G01B21/00;G01B5/00;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;C23C14/54
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 顧麗波;姜春咸

本公開提供了平坦度測量治具和蒸鍍系統。所述平坦度測量治具包括：底座；工作臺，其包括在所述工作臺的厚度方向上延伸并且穿透所述工作臺的至少一個第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且與所述至少一個第一孔一一對應的至少一個第二孔；至少一個支撐柱，所述至少一個支撐柱設置在所述底座上，并且用于支撐所述工作臺；至少一個傳感器，所述至少一個傳感器中的每一個設置在所述至少一個第一孔之一中，并且用于測量待測對象的表面的平坦度；以及至少一個顯示器，所述至少一個顯示器中的每一個通過信號線連接至所述至少一個傳感器中的一個傳感器，以顯示該傳感器的測量值。

技術領域

本公開涉及有機發光二極管(OLED)顯示的技術領域，具體地，涉及一種平坦度測量治具和一種蒸鍍系統。

背景技術

在OLED面板、OLED顯示裝置等產品的制造過程中，一般利用蒸鍍工藝來在基板上蒸鍍包括有機發光層在內的各種材料層。因此，用于形成這些材料層的設備的部件的表面的平坦度，對于所形成的產品的良率及所述設備的稼動率有著直接的影響。如何在極短的時間內快速準確的測量所述設備的部件的當前平坦度、以調節所述設備的部件以具有期望的平坦度是至關重要的。

發明內容

本公開的第一方面提供了一種平坦度測量治具，包括：

底座；

工作臺，其包括在所述工作臺的厚度方向上延伸并且穿透所述工作臺的至少一個第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且與所述至少一個第一孔一一對應的至少一個第二孔；

至少一個支撐柱，所述至少一個支撐柱設置在所述底座上，并且用于支撐所述工作臺；

至少一個傳感器，所述至少一個傳感器中的每一個設置在所述至少一個第一孔之一中，并且用于測量待測對象的表面的平坦度；以及

至少一個顯示器，所述至少一個顯示器中的每一個通過信號線連接至所述至少一個傳感器中的一個傳感器，以顯示該傳感器的測量值。

在一個實施例中，所述至少一個傳感器中的每一個用于測量所述待測對象的所述表面的最大高度和最小高度，并且所述待測對象的所述表面的所述平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。

在一個實施例中，所述平坦度測量治具還包括與所述至少一個支撐柱一一對應的至少一個第一緊固件，所述至少一個第一緊固件用于調節所述工作臺相對于所述底座的高度并且將所述工作臺固定在所述至少一個支撐柱上。

在一個實施例中，所述平坦度測量治具還包括位于所述底座上的第一水平儀和位于所述工作臺上的第二水平儀，所述第一水平儀和所述第二水平儀分別用于檢測所述底座的水平程度和所述工作臺的水平程度。

在一個實施例中，所述平坦度測量治具還包括與所述至少一個第二孔一一對應的至少一個第二緊固件，所述至少一個第二孔中的每一個與對應的第一孔連通，并且所述至少一個第二緊固件分別設置在對應的第二孔中用于固定位于對應的第一孔中的所述傳感器。

在一個實施例中，所述底座包括主體部和兩個突出部，所述主體部實質上呈矩形，所述兩個突出部彼此間隔地位于所述主體部的同一側。

在一個實施例中，所述兩個突出部之間的空隙呈U形。

在一個實施例中，在所述兩個突出部從所述主體部突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待測對象的尺寸。

在一個實施例中，所述至少一個支撐柱包括兩個支撐柱，所述兩個支撐柱分別設置于所述兩個突出部的遠離所述主體部的端部上，并且所述至少一個顯示器位于所述主體部上。

在一個實施例中，所述兩個支撐柱中的每一個包括線路槽，所述兩個突出部中的每一個包括線路槽，并且所述兩個支撐柱中的每一個的所述線路槽和對應的突出部的所述線路槽彼此連通以容納所述信號線。