[發明專利]平坦度測量治具和蒸鍍系統

在審

• 申請號: 202011452670.9
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112595222A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 王洪勝;魏立超;楊林;高翔;沈帥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28;G01B21/30;G01B21/00;G01B5/00;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;C23C14/54
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 顧麗波;姜春咸

1.一種平坦度測量治具，包括：

底座；

工作臺，其包括在所述工作臺的厚度方向上延伸并且穿透所述工作臺的至少一個第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且與所述至少一個第一孔一一對應的至少一個第二孔；

至少一個支撐柱，所述至少一個支撐柱設置在所述底座上，并且用于支撐所述工作臺；

至少一個傳感器，所述至少一個傳感器中的每一個設置在所述至少一個第一孔之一中，并且用于測量待測對象的表面的平坦度；以及

至少一個顯示器，所述至少一個顯示器中的每一個通過信號線連接至所述至少一個傳感器中的一個傳感器，以顯示該傳感器的測量值。

2.根據權利要求1所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個傳感器中的每一個用于測量所述待測對象的所述表面的最大高度和最小高度，并且所述待測對象的所述表面的所述平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。

3.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，還包括與所述至少一個支撐柱一一對應的至少一個第一緊固件，所述至少一個第一緊固件用于調節所述工作臺相對于所述底座的高度并且將所述工作臺固定在所述至少一個支撐柱上。

4.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，還包括位于所述底座上的第一水平儀和位于所述工作臺上的第二水平儀，所述第一水平儀和所述第二水平儀分別用于檢測所述底座的水平程度和所述工作臺的水平程度。

5.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，還包括與所述至少一個第二孔一一對應的至少一個第二緊固件，所述至少一個第二孔中的每一個與對應的第一孔連通，并且所述至少一個第二緊固件分別設置在對應的第二孔中用于固定位于對應的第一孔中的所述傳感器。

6.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，其中，所述底座包括主體部和兩個突出部，所述主體部實質上呈矩形，所述兩個突出部彼此間隔地位于所述主體部的同一側。

7.根據權利要求6所述的平坦度測量治具，其中，所述兩個突出部之間的空隙呈U形。

8.根據權利要求7所述的平坦度測量治具，其中，在所述兩個突出部從所述主體部突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待測對象的尺寸。

9.根據權利要求6所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個支撐柱包括兩個支撐柱，所述兩個支撐柱分別設置于所述兩個突出部的遠離所述主體部的端部上，并且所述至少一個顯示器位于所述主體部上。

10.根據權利要求9所述的平坦度測量治具，其中，所述兩個支撐柱中的每一個包括線路槽，所述兩個突出部中的每一個包括線路槽，并且所述兩個支撐柱中的每一個的所述線路槽和對應的突出部的所述線路槽彼此連通以容納所述信號線。

11.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個傳感器中的每一個包括接觸式數字傳感器或數顯千分表。

12.根據權利要求3所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個第一緊固件中的每一個包括螺絲或夾具。

13.根據權利要求5所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個第二緊固件中的每一個包括螺絲。

14.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，其中，所述工作臺呈圓角矩形。

15.根據權利要求1或2所述的平坦度測量治具，其中，所述至少一個支撐柱中的每一個與所述底座和所述工作臺中的任一個都是可拆卸地分離的。