[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011449299.0
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN112643515A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代旭
• 申請（專利權(quán)）人: 南京庫森科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B27/00;B24B41/00;H05F3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，包括支撐架（1）、轉(zhuǎn)盤送料裝置（2）、表面拋光裝置3、除屑除靜電裝置（4），其特征在于：

所述轉(zhuǎn)盤送料裝置（2）包括：轉(zhuǎn)盤電機(jī)（201）、轉(zhuǎn)盤（202）、送料皮帶（209）、載物臺(tái)支架（211）、擋桿支架（212）、出料皮帶（213）；

所述表面拋光裝置（3）包括：拋光裝置底座（311）；

所述除屑除靜電裝置（4）包括：液壓缸（401）、第二連桿（403）；

所述的支撐架（1）為轉(zhuǎn)盤送料裝置（2）、表面拋光裝置（3）、除屑除靜電裝置（4）的安裝平臺(tái)，轉(zhuǎn)盤電機(jī)（201）固定安裝在支撐架（1）上，轉(zhuǎn)盤（202）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在支撐架（1）上，轉(zhuǎn)盤（202）與轉(zhuǎn)盤電機(jī)（201）的輸出軸固定連接，送料皮帶（209）固定安裝在支撐架（1）上，載物臺(tái)支架（211）固定安裝在支撐架（1）上，擋桿支架（212）固定安裝在支撐架（1）上，出料皮帶（213）固定安裝在支撐架（1）上，拋光裝置底座（311）固定安裝在支撐架（1）上，液壓缸（401）固定安裝在支撐架（1）上，第二連桿（403）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在支撐架1上；

所述轉(zhuǎn)盤送料裝置（2）還包括：折彎桿（203）、斜轉(zhuǎn)盤（204）、同心轉(zhuǎn)輪（205）、轉(zhuǎn)輪連桿（206）、偏心轉(zhuǎn)輪（207）、活動(dòng)載物臺(tái)（208）、送料皮帶（209）、固定載物臺(tái)（210）,折彎桿（203）滑動(dòng)安裝在轉(zhuǎn)盤（202）上，斜轉(zhuǎn)盤（204）滑動(dòng)安裝在折彎桿（203）上，同心轉(zhuǎn)輪（205）固定安裝在斜轉(zhuǎn)盤（204）上，轉(zhuǎn)輪連桿（206）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在同心轉(zhuǎn)輪（205）上，偏心轉(zhuǎn)輪（207）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在同心轉(zhuǎn)輪（205）中心的固定轉(zhuǎn)盤上，偏心轉(zhuǎn)輪（207）同時(shí)與轉(zhuǎn)輪連桿（206）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，活動(dòng)載物臺(tái)（208）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在轉(zhuǎn)輪連桿（206）上，固定載物臺(tái)（210）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在載物臺(tái)支架（211）上；

所述表面拋光裝置（3）還包括：拋光裝置電機(jī)（301）、聯(lián)軸器（302）、曲面輪（303）、曲面桿（304）、傳動(dòng)連桿（305）、氣彈簧（306）、拋光輪（307）、拋光裝置骨架（308）、凸輪（309）、調(diào)節(jié)電機(jī)（310）,拋光裝置電機(jī)（301）固定安裝在拋光裝置骨架（308）上，曲面輪（303）與拋光裝置電機(jī)（301）的輸出軸通過聯(lián)軸器（302）固定連接，曲面桿（304）滑動(dòng)安裝在曲面輪（303）的表面上，傳動(dòng)連桿（305）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在曲面桿（304）上，傳動(dòng)連桿（305）同時(shí)滑動(dòng)安裝在拋光裝置骨架（308）上氣彈簧（306）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在傳動(dòng)連桿（305上，拋光輪（307）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在氣彈簧（306）上，拋光裝置骨架（308）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在拋光裝置底座（311）上，調(diào)節(jié)電機(jī)（310）固定安裝在拋光裝置底座（311）上，凸輪（309）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在調(diào)節(jié)電機(jī)（310）上。

2.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述除屑除靜電裝置（4）還包括： 第一連桿（402）、除靜電刷（404）, 第一連桿（402）的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在液壓缸（401）的伸縮桿上，第一連桿（402）的另一端與第二連桿（403）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，除靜電刷（404）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在第二連桿（403）上。

3.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述的折彎桿（203在轉(zhuǎn)盤（202）上表面上圓周布置6個(gè)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述的轉(zhuǎn)輪連桿（206）為折形連桿，轉(zhuǎn)輪連桿（206）與偏心轉(zhuǎn)輪（207）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝的軸伸出后在水平方向，再與活動(dòng)載物臺(tái)（208）轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述的擋桿支架（212）中間固定安裝有一水平橫桿。

6.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述的氣彈簧（306）上固定安裝有氣閥。

7.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片表面拋光裝置，其特征在于：所述的第二連桿403上固定安裝有舵機(jī)，舵機(jī)的輸出軸與除靜電刷（404）固定連接。