[發明專利]一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備

在審

• 申請號: 202011449293.3
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN112626615A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 黃夢蕾
• 申請（專利權）人: 黃夢蕾
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/02
• 代理公司: 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 11642
• 代理人: 王雨

1.一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，包括擴散輔助機構(1)，其特征在于：所述擴散輔助機構(1)的中心設有襯底(2)，襯底(2)的外側活動連接有固定板(3)，固定板(3)的外側活動連接有連接件(4)，固定板(3)的頂部固定連接有導管(5)，導管(5)的頂部固定連接有環管(6)，環管(6)的頂部活動連接有調和環(7)，調和環(7)的內部設有離子倉(8)，離子倉(8)的內部活動連接有轉軸(9)，轉軸(9)的外側固定連接有攪板(10)，攪板(10)的外側設有磁鐵(11)，調和環(7)的頂部固定連接有弧管(12)，弧管(12)的外側固定連接有風管(13)，風管(13)的內側活動連接有支撐柱(14)，支撐柱(14)的底部活動連接有彈簧(15)，風管(13)的內側活動連接有氫氣扇(16)，弧管(12)的頂部固定連接有整流球(17)，整流球(17)的外側固定連接有異形管(18)，異形管(18)的頂部固定連接有液體倉(19)，液體倉(19)的內部轉動連接有轉動輪(20)，轉動輪(20)的頂部活動連接有硅倉(21)，硅倉(21)的內部活動連接有滾球(22)，滾球(22)的外側設有噴頭(23)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述固定板(3)的數目為四個，且四個固定板(3)均勻分布在襯底(2)的外側。

3.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述固定板(3)的數目和導管(5)的數目相同，且固定板(3)通過導管(5)和環管(6)活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述離子倉(8)的數目為三個，且三個離子倉(8)均勻分布在調和環(7)的內部。

5.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述攪板(10)的數目為三個，且三個攪板(10)均勻分布在轉軸(9)的外側。

6.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述氫氣扇(16)的左右兩側均設有支撐柱(14)，且氫氣扇(16)均勻分布在調和環(7)的外側。

7.根據權利要求1所述的一種半導體分立器用硅外延生長擴散輔助設備，其特征在于：所述硅倉(21)的內部設有四氯化硅，且滾球(22)的數目是硅倉(21)數目的兩倍。