[發明專利]一種防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的裝置和方法

在審

• 申請號: 202011448030.0
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN112680723A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 楊軍;董岱;王天一
• 申請（專利權）人: 蘇州科韻激光科技有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/455;C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 鞏克棟

1.一種防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

沉積氣體儲存容器，用于供應激光化學氣相沉積所需的沉積氣體；

反應腔體，用于進行激光化學氣相沉積過程；

管路，連通所述沉積氣體儲存容器與所述反應腔體，用于將所述沉積氣體由所述沉積氣體儲存容器輸送至所述反應腔體；在沿著所述沉積氣體的流動方向，所述管路包括至少兩個溫度流失區域；

溫度保持裝置，所述溫度保持裝置沿所述管路設置，用于保持所述管路內的沉積氣體為持續氣化狀態；所述溫度保持裝置至少為兩個，對應設置在所述溫度流失區域；

第一溫度監測裝置，所述第一溫度監測裝置對應設置在所述溫度流失區域，用于監測所述溫度流失區域的溫度；所述第一溫度監測裝置至少為兩個，沿所述沉積氣體的流動方向，所述第一溫度監測裝置的監測目標溫度呈遞增趨勢；

控制裝置，連接所述第一溫度監測裝置與對應設置的所述溫度保持裝置，接收所述第一溫度監測裝置監測到的溫度，生成控制信號并發送至對應設置的所述溫度保持裝置，控制所述溫度保持裝置的輸出溫度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述溫度流失區域為所述管路的彎曲處。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，在所述沉積氣體儲存容器上設置第二溫度監測裝置，用于監測所述沉積氣體儲存容器內的沉積氣體的溫度。

4.根據權利要求1-3任一項所述的裝置，其特征在于，沿所述沉積氣體的流動方向，首個所述第一溫度監測裝置的監測目標溫度大于所述沉積氣體的結晶溫度。

5.根據權利要求1-4任一項所述的裝置，其特征在于，所述溫度保持裝置為加熱器。

6.根據權利要求1-5任一項所述的裝置，其特征在于，在所述沉積氣體儲存容器上設置進氣管，并在所述進氣管上設置進氣閥，在所述反應腔體上設置排氣管，并在所述排氣管上設置排氣閥。

7.根據權利要求1-6任一項所述的裝置，其特征在于，在所述管路上與所述沉積氣體儲存容器相連通的位置設置源氣體閥門。

8.一種利用權利要求1-7所述裝置的防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

在連接沉積氣體儲存容器與反應腔體的管路上，沿著沉積氣體的流動方向，包括至少兩個溫度流失區域，并將溫度保持裝置與第一溫度監測裝置以及連接兩者的控制裝置對應設置在所述溫度流失區域，使得沿所述沉積氣體的流動方向，所述第一溫度監測裝置的監測目標溫度呈遞增趨勢，保持所述管路內的沉積氣體為持續氣化狀態。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，相鄰兩個所述第一溫度監測裝置的監測目標溫度的差值為2-10℃。

10.根據權利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述第一溫度監測裝置監測到的溫度低于對應的監測目標溫度，使得對應設置的控制裝置下發控制信號到對應設置的所述溫度保持裝置上，升高對應設置的所述溫度保持裝置的輸出溫度。