[發(fā)明專利]一種背板組件、制程方法和顯示裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011441737.9
• 申請(qǐng)日: 2020-12-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112599534A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅傳寶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L27/15;H01L29/417;H01L29/786;H01L21/77
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種背板組件，其特征在于，包括：

基板，具有相對(duì)設(shè)置的第一面和第二面；

第一金屬層，設(shè)置在所述第一面；

透明金屬氧化層，設(shè)置在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面，所述透明金屬氧化層和所述第一金屬層形成源漏極、遮光層以及焊盤；

緩沖層，設(shè)置在所述透明金屬氧化層遠(yuǎn)離所述基板的一面，且覆蓋所述第一面，所述緩沖層設(shè)有過(guò)孔，所述過(guò)孔位置與所述源漏極對(duì)應(yīng)；

有源層，設(shè)置在所述緩沖層遠(yuǎn)離所述基板的一面，所述有源層包括溝道區(qū)以及溝道區(qū)兩側(cè)的非溝道區(qū)，所述溝道區(qū)通過(guò)所述過(guò)孔與所述源漏極連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背板組件，其特征在于，還包括絕緣層和第二金屬層，所述絕緣層設(shè)置在所述有源層遠(yuǎn)離所述基板的一面，所述第二金屬層設(shè)置在所述絕緣層遠(yuǎn)離所述基板的一面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的背板組件，其特征在于，還包括第一鈍化層和第三金屬層，所述第一鈍化層設(shè)置在所述第二金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面，且覆蓋所述有源層和緩沖層，所述第一鈍化層具有接觸孔，所述第三金屬層設(shè)置在所述第一鈍化層遠(yuǎn)離所述基板的一面，所述第三金屬層通過(guò)接觸孔與所述有源層的非溝道區(qū)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的背板組件，其特征在于，還包括芯片，所述第三金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)有凹陷，所述凹陷位于所述接觸孔內(nèi)，所述芯片設(shè)置在所述第三金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面，且位于所述凹陷內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的背板組件，其特征在于，還包括第二鈍化層和黑矩陣，所述第二鈍化層設(shè)置在所述第一鈍化層遠(yuǎn)離所述基板的一面，所述第二鈍化層部分覆蓋所述第三金屬層，所述黑矩陣設(shè)置在所述第二鈍化層遠(yuǎn)離所述基板的一面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背板組件，其特征在于，所述透明金屬氧化層為氧化銦鋅或者氧化銦錫。

7.一種背板組件的制程方法，其特征在于，包括：

提供一基板，所述基板具有相對(duì)設(shè)置的第一面和第二面；

在所述第一面設(shè)置第一金屬層；

在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置透明金屬氧化層；

將所述透明金屬氧化層和所述第一金屬層通過(guò)圖案化形成源漏極、遮光層以及焊盤；

在所述透明金屬氧化層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置緩沖層，所述緩沖層覆蓋所述第一面，所述緩沖層設(shè)有過(guò)孔，所述過(guò)孔位置與所述源漏極對(duì)應(yīng)；

在所述緩沖層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置有源層，所述有源層包括溝道區(qū)以及溝道區(qū)兩側(cè)的非溝道區(qū)，所述溝道區(qū)通過(guò)所述過(guò)孔與所述源漏極連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的背板組件的制程方法，其特征在于，所述在透明金屬氧化層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置緩沖層，包括：

在所述透明金屬氧化層遠(yuǎn)離所述基板的一面沉積緩沖過(guò)渡層；

將所述緩沖過(guò)渡層進(jìn)行圖案化處理；

對(duì)圖案化處理后的緩沖過(guò)渡層進(jìn)行退火處理以形成緩沖層，其中，退火的溫度為300-400℃，退火時(shí)間為2-3小時(shí)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的背板組件的制程方法，其特征在于，所述在緩沖層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置有源層之后，包括：

在所述有源層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置第一鈍化層，所述第一鈍化層設(shè)置有接觸孔；

在所述第一鈍化層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置第三金屬層，所述第三金屬層通過(guò)接觸孔與所述有源層連接；

在所述第三金屬層遠(yuǎn)離所述基板的一面設(shè)置芯片。

10.一種顯示裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的背板組件。