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[發明專利]基板支架在審

專利信息
申請號: 202011440219.5 申請日: 2020-12-11
公開(公告)號: CN112981505A 公開(公告)日: 2021-06-18
發明(設計)人: 宮本松太郎 申請(專利權)人: 株式會社荏原制作所
主分類號: C25D17/06 分類號: C25D17/06;C25D17/00
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 舒艷君;王海奇
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 支架
【權利要求書】:

1.一種基板支架,具備:

接點組件,具有接點、密封部件以及保持體,上述接點作為與基板的第一面的外周部接觸的電接點,上述密封部件具有覆蓋上述接點的前端部的周圍并與上述第一面接觸的密封部,上述保持體保持上述接點以及上述密封部件;

第一板,位于上述基板的第二面側,在該第一板與上述接點組件之間夾持上述基板;

至少一個第一銷,固定于上述接點組件的上述保持體,上述第一銷在上述基板的外側朝向上述第二面側延伸,且具有被卡定部;

卡定部件,相對于上述第一板配置在上述第二面側,且能夠位移至相對于上述第一銷的上述被卡定部的卡定狀態和非卡定狀態;以及

至少一個第一施壓部件,沿著上述基板的外周部,設置在上述卡定部件與上述第一板之間以使上述卡定部件與上述第一板相互分離,在上述卡定狀態下在上述卡定部件與上述第一板之間被壓縮,朝向上述接點組件側對上述第一板進行施壓。

2.一種基板支架,具備:

接點組件,具有接點、密封部件以及保持體,上述接點作為與基板的第一面的外周部接觸的電接點,上述密封部件具有在上述接點的內側與上述第一面接觸的密封部,上述保持體保持上述接點以及上述密封部件;

第一板,位于上述基板的第二面側,在該第一板與上述接點組件之間夾持上述基板;

多個第一銷,固定于上述接點組件的上述保持體,上述第一銷在上述基板的外側朝向上述第二面側延伸,且具有被卡定部;

卡定部件,相對于上述第一板配置在上述第二面側,且能夠位移至相對于上述第一銷的上述被卡定部的卡定狀態和非卡定狀態;以及

多個第一施壓部件,沿著上述基板的外周部設置,設置在上述卡定部件與上述第一板之間以使上述卡定部件與上述第一板相互分離,在上述卡定狀態下,在上述卡定部件與上述第一板之間被壓縮,朝向上述接點組件側對上述第一板進行施壓。

3.根據權利要求1或者2所述的基板支架,其中,

還具備相對于上述第一板配置的第二板,

上述第一施壓部件配置在上述第一板與上述第二板之間以使上述第一板與上述第二板相互分離,

上述卡定部件在上述第二板的與上述第一板相反側與上述第一銷的上述被卡定部卡定。

4.根據權利要求3所述的基板支架,其中,

還具備配置在上述卡定部件與上述第二板之間的第二施壓部件,

上述卡定部件通過上述第二施壓部件被施壓至上述卡定狀態或者上述非卡定狀態。

5.根據權利要求3所述的基板支架,其中,

還具備固定于上述第二板的第二銷,

上述卡定部件具有供上述第二銷插入的第一引導孔,

上述卡定部件沿著上述第二板的面被上述第二銷引導,在上述卡定部件的上述卡定狀態與上述非卡定狀態之間移動。

6.根據權利要求3所述的基板支架,其中,

上述卡定部件與上述第二板一起以與上述第一板接近以及分離的方式移動,

上述第一板具有第三銷以及供上述第三銷插入的第二引導孔的一方,

上述第二板還具有上述第三銷以及上述第二引導孔的另一方,

上述第一板以及上述第二板被上述第三銷引導,以彼此接近分離的方式移動。

7.根據權利要求1或者2所述的基板支架,其中,

上述第一施壓部件的至少一部分位于上述基板的外側。

8.根據權利要求7所述的基板支架,其中,

上述第一施壓部件具有配置在至少一個上述第一銷的周圍的彈簧。

9.根據權利要求7所述的基板支架,其中,

上述第一施壓部件具有在上述基板的外側方向上配置在比上述第一銷靠內側的彈性元件、以及/或者在上述基板的外側方向上配置在比上述第一銷靠外側的彈性元件。

10.根據權利要求1或者2所述的基板支架,其中,

上述第一施壓部件的至少一部分配置為與上述密封部重疊。

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