[發明專利]一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置

在審

• 申請號: 202011439765.7
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112359410A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 李健樂;張淳;邢子淳;張豐;李倫;戴超;王彥君;孫晨光
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

本發明公開了一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，包括熔爐口，所述熔爐口外圈套接固定圈，所述固定圈外側壁三等分處螺栓連接夾持結構底端，所述夾持結構包括定位柄,所述定定位柄底端內側螺栓連接固定圈，所述定位柄頂端固接斜塊，所述斜塊頂部開有槽腔，所述槽腔頂部螺栓連接限位梁，所述槽腔外側腔口邊緣螺栓連接調距結構。與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明利用楔形滑落的原理，對晶棒進行物理制動，根據受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力與晶棒自身重力對夾持器所產生的正壓力達到平衡狀態，保證晶棒不會傾斜掉落；克服了人工干預制晶形狀的缺點，制晶過程的穩定性，提高了效率，提高了產能。

技術領域

本發明涉及晶棒制備技術領域，具體為一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置。

背景技術

現有的晶棒夾持裝置是通過兩個圓形鉬片，通過人為控制與晶棒接觸的時間，來控制夾持效果。該方式的夾持裝置，其與晶棒的接觸位置，經常容易滑落，導致拉晶失敗，根據分析，是由于現有結構的受力方向與晶棒生長所產生的重力方向不能很好地結合，在晶棒生長中后期，質量較大時，容易發生偏移，導致拉晶失敗。為此我們提出一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置用于解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，包括熔爐口，所述熔爐口外圈套接固定圈，所述固定圈外側壁三等分處螺栓連接夾持結構底端，所述夾持結構包括定位柄,所述定定位柄底端內側螺栓連接固定圈，所述定位柄頂端固接斜塊，所述斜塊頂部開有槽腔，所述槽腔頂部螺栓連接限位梁，所述槽腔外側腔口邊緣螺栓連接調距結構；

所述調距結構包括底塊，所述底塊螺栓連接斜塊外側底部，所述底塊中部豎直對稱貫穿并螺紋連接兩個頂桿，所述頂桿頂部活動頂托兩個對稱安裝的升降塊豎直端底部，兩個所述升降塊對稱安裝于槽腔外側腔口邊緣，所述升降塊水平端螺栓連接限位栓中部，所述限位栓末端螺紋連接斜塊，所述升降塊豎直端中部活動插接連接銷兩端；

所述連接銷中部活動連接銷桿中部，所述銷桿中部貫穿槽腔內腔，所述銷桿末端固接循跡塊一端中部，所述循跡塊兩側滑動連接槽腔內腔壁，所述循跡塊另一端底面螺栓滑塊，所述滑塊側面滑動接觸槽腔內側腔口，所述滑塊凸臺面螺栓連接鉬片。

優選的，所述熔爐口外側壁開有若干定位孔,所述定位孔螺紋定位銷末端，所述定位銷中部螺紋連接對位孔，所述對位孔開于固定圈側壁。

優選的，所述定位柄底端開有螺孔，所述螺孔孔腔螺紋連接螺栓，所述螺栓末端螺紋連接固定圈側壁。

優選的，所述升降塊水平端中部開有升降槽，所述升降槽活動卡接限位栓中部；所述連接銷兩端槽口處卡接卡環，所述卡環側壁活動接觸升降塊側壁。

優選的，所述銷桿外端螺紋連接限位頭，所述限位頭活動接觸底塊頂面；所述銷桿內端固接連接桿，所述連接桿貫穿槽腔內腔，所述連接桿末端固接循跡塊。

優選的，所述鉬片為圓弧狀。

優選的，所述循跡塊兩側活動連接滑輪，所述滑輪滾動連接滑道，所述滑道開于槽腔腔壁。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明利用楔形滑落的原理，對晶棒進行物理制動，根據受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力與晶棒自身重力對夾持器所產生的正壓力達到平衡狀態，保證晶棒不會傾斜掉落；克服了人工干預制晶形狀的缺點，制晶過程的穩定性，提高了效率，提高了產能。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖2為本發明中旋轉上料座結構結構示意圖；

圖3為本發明圖2中A處結構放大結構示意圖。