[發明專利]一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置

在審

• 申請號: 202011439765.7
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112359410A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 李健樂;張淳;邢子淳;張豐;李倫;戴超;王彥君;孫晨光
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

1.一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，包括熔爐口(1)，所述熔爐口(1)外圈套接固定圈(2)，其特征在于：所述固定圈(2)外側壁三等分處螺栓連接夾持結構(3)底端，所述夾持結構(3)包括定位柄(30),所述定定位柄(30)底端內側螺栓連接固定圈(30)，所述定位柄(30)頂端固接斜塊(31)，所述斜塊(31)頂部開有槽腔(32)，所述槽腔(32)頂部螺栓連接限位梁(33)，所述槽腔(32)外側腔口邊緣螺栓連接調距結構(34)；

所述調距結構(34)包括底塊(340)，所述底塊(340)螺栓連接斜塊(31)外側底部，所述底塊(340)中部豎直對稱貫穿并螺紋連接兩個頂桿(341)，所述頂桿(341)頂部活動頂托兩個對稱安裝的升降塊(342)豎直端底部，兩個所述升降塊(342)對稱安裝于槽腔(32)外側腔口邊緣，所述升降塊(342)水平端螺栓連接限位栓(344)中部，所述限位栓(344)末端螺紋連接斜塊(31)，所述升降塊(342)豎直端中部活動插接連接銷(346)兩端；

所述連接銷(346)中部活動連接銷桿(35)中部，所述銷桿(35)中部貫穿槽腔(32)內腔，所述銷桿(35)末端固接循跡塊(36)一端中部，所述循跡塊(36)兩側滑動連接槽腔(32)內腔壁，所述循跡塊(36)另一端底面螺栓滑塊(38)，所述滑塊(38)側面滑動接觸槽腔(32)內側腔口，所述滑塊(38)凸臺面螺栓連接鉬片(37)。

2.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述熔爐口(1)外側壁開有若干定位孔(10),所述定位孔(10)螺紋定位銷(21)末端，所述定位銷(21)中部螺紋連接對位孔(20)，所述對位孔(20)開于固定圈(2)側壁。

3.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述定位柄(30)底端開有螺孔(300)，所述螺孔(300)孔腔螺紋連接螺栓(301)，所述螺栓(301)末端螺紋連接固定圈(2)側壁。

4.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述升降塊(342)水平端中部開有升降槽(343)，所述升降槽(343)活動卡接限位栓(344)中部；所述連接銷(346)兩端槽口處卡接卡環(345)，所述卡環(345)側壁活動接觸升降塊(342)側壁。

5.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述銷桿(35)外端螺紋連接限位頭(350)，所述限位頭(350)活動接觸底塊(340)頂面；所述銷桿(35)內端固接連接桿(351)，所述連接桿(351)貫穿槽腔(32)內腔，所述連接桿(351)末端固接循跡塊(36)。

6.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述鉬片(37)為圓弧狀。

7.根據權利要求1所述的一種基于Fz法的楔形滑落晶棒夾持裝置，其特征在于：所述循跡塊(36)兩側活動連接滑輪(360)，所述滑輪(360)滾動連接滑道(320)，所述滑道(320)開于槽腔(32)腔壁。