[發(fā)明專利]FOSB的節(jié)拍式全自動充氮包裝方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011435299.5
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112455782A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王迪杏;計時鳴;王寧
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: B65B31/06
• 分類號: B65B31/06;B65B51/00;B65B61/00;B65B11/00;B65B57/00;B65B43/30;B65B5/00;B65B63/00;B65B65/00
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發(fā)明公開了一種FOSB的節(jié)拍式全自動充氮包裝方法，所采用的裝置包括移動模塊、進(jìn)料讀ID工位、第一貼標(biāo)工位、第一過渡工位、第一充氮工位、第二過渡工位、第二充氮工位、放干燥劑濕度卡工位、套袋工位、抽真空整形工位、纏膠帶工位、第二貼標(biāo)工位、下料過渡工位和下料工位，所述全自動包裝方法以36秒為一個節(jié)拍，以節(jié)拍為順序完成整個包裝順序。本發(fā)明的FOSB的節(jié)拍式全自動充氮包裝方法能夠完成混合包裝流程，即完成“不充氮一層包裝”、“不充氮二層包裝”、“充氮一層包裝”和“充氮二層包裝”四種模式的隨機(jī)混合排序包裝流程，包裝指令隨著FOSB的在節(jié)拍1中讀取的RFID進(jìn)行下達(dá)，具有極高的適應(yīng)性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及前開式芯片包裝盒的自動包裝領(lǐng)域，更具體的說，尤其涉及一種FOSB的節(jié)拍式全自動充氮包裝方法。

背景技術(shù)

晶圓指的是硅半導(dǎo)體集成電路所制成的硅芯片，由于其形狀為圓形，故被稱為晶圓，晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體，一般意義上的晶圓基本上指的是單晶硅圓片，單晶歸元片由普通硅砂垃制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一些列錯失后支撐單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后就成了晶圓。隨著集成電路制造技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片特征尺寸越來越小，互連層數(shù)越來越多，晶圓直徑也不斷增加，要實現(xiàn)多層布線，晶圓表面必須具有極高的平整度、光滑度和清潔度，而為了實現(xiàn)晶圓表面的平整度、光滑度和清潔度，其運輸過程中必然不能像普通設(shè)備一樣隨意包裝，因此采用專用的晶圓包裝盒就顯得尤為必要。

前開式晶圓運輸盒，簡稱FOSB(Front Opening Shipping Box)，即為一種專用于晶圓運輸?shù)陌b盒。FOSB可保護(hù)、運輸并存儲晶圓，防止晶圓在運輸?shù)倪^程中發(fā)生摩擦或碰撞，為晶圓運輸傳輸及儲存時提供安全防護(hù)。FOSB的氣密度很好，能夠有效防止物質(zhì)的產(chǎn)生。

現(xiàn)有的FOSB在存儲運輸前都需要進(jìn)行包裝操作，目前的晶圓包裝基本都采用人工包裝，整個包裝過程包括包裝袋整形并放入FOSB、對包裝袋進(jìn)行熱真空熱風(fēng)、包裝袋再整形、包裝袋表面纏繞膠帶和貼標(biāo)簽這五個步驟，整個過程基本上都是利用人工完成，人工包裝的包裝效率慢，包裝節(jié)拍受到人工熟練度以及其他其他各種人為因素的影響；同時人工包裝的質(zhì)量不穩(wěn)定，包裝的質(zhì)量參差不齊；人工包裝在進(jìn)行長時間包裝時，容易產(chǎn)生人員疲勞，極易產(chǎn)生工傷、意外以及不可避免的損耗，比較容易浪費資源，提高整個包裝的成本；人工包裝時的工藝流程基本都是固定的，無法靈活修改包裝工藝，想要修改整體工藝基本上需要對員工進(jìn)行再次培訓(xùn)，從而浪費大量時間。

而相對于人工包裝來說，對FOSB的全自動包裝則具有包裝效率更高、包裝質(zhì)量更加穩(wěn)定、工藝修改靈活、極大降低人員和工具損失以及極大程度上降低開銷成本的好處。然而現(xiàn)階段只能找到普通的運輸盒的自動包裝裝置，專用于FOSB的全自動包裝裝置幾乎很難見到，而與普通的運輸相比，F(xiàn)OSB因為其裝有的圓晶要求更好的穩(wěn)定性和氣密性，所以對其包裝也有很高的要求。

為了保證FOSB在運輸時的穩(wěn)定性和氣密性，在對FOSB進(jìn)行包裝時，根據(jù)運輸距離、運輸方式和存儲方式的不同，有時需要進(jìn)行單層包裝，有時需要進(jìn)行雙層包裝，有時需要進(jìn)行充氮包裝，有時需要進(jìn)行不沖氮包裝，綜合起來，對FOSB進(jìn)行包裝通常存在五種模式：不充氮一層包裝、不充氮二層包裝、充氮一層包裝、充氮二層包裝和混合包裝。混合包裝指的是同一批次的FOSB需要按照需求進(jìn)行前四種模式的包裝，即同一批FOSB部分需要進(jìn)行不充氮一層包裝，部分需要進(jìn)行不充氮二層包裝，部分需要進(jìn)行充氮一層包裝，部分需要進(jìn)行充氮二層包裝。