[發明專利]碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液及制備方法

在審

• 申請號: 202011433027.1
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112480825A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 付存;付春淞;劉丹丹;王松娟;王泳;汪靜
• 申請（專利權）人: 河南聯合精密材料股份有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 鄭州優盾知識產權代理有限公司 41125
• 代理人: 王紅培

1.一種碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液，其特征在于，包括以下重量百分比的組分：金剛石磨料0.1-1%、油性劑 3-10%、分散劑0.1-0.4%、改性脲溶液 0.1-0.5%、活化劑 0.1-0.5%、余量為基礎溶劑。

2.根據權利要求1所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液，其特征在于：所述油性劑為甘油單油酸酯或二十二碳烯酸，分散劑為硅烷偶聯劑，活化劑為水，基礎溶劑為C12-C15礦物油。

3.根據權利要求1或2所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液，其特征在于，所述金剛石磨料為多晶金剛石粉體，將多晶金剛石粉體制備為油性金剛石分散液，具體步驟為：

（1）將多晶金剛石粉體分散在水中，室溫下攪拌超聲分散30min、離心法拋粗；

（2）將步驟（1）離心后漿料進行高速離心脫水，調整其含水率不低于20%，采用凍干機烘干磨料；

（3）向步驟（2）得到的烘干磨料中加入基礎溶劑和分散劑，室溫下攪拌超聲分散、離心法拋粗，得到油性金剛石分散液。

4.根據權利要求3所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液，其特征在于：所述步驟（1）中多晶金剛石粉體的粒徑為200nm-1.5μm，分散在水中后金剛石粉體的固含量為5-10 wt%，超聲功率為500-1500KW，頻率40KH。

5.根據權利要求3所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液，其特征在于：所述步驟（3）中烘干磨料加入基礎溶劑后固含量為5-10 wt%，分散劑的含量為3-4wt%，超聲功率為500-1500KW，頻率40KH，攪拌轉速為150-300rpm。

6.權利要求4-5任一項所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

①將油性劑加入到基礎溶劑中，攪拌混合均勻，得A溶液；

②攪拌的狀態下，將改性脲溶液滴加到A溶液中，得B溶液；

③攪拌狀態下，將活化劑加入B溶液中，持續攪拌30-60min，得C溶液；

④攪拌狀態下，將油性金剛石分散液加入到C溶液中，持續攪拌30-60min，得到金剛石拋光液。

7.根據權利要求6所述的碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液的制備方法，其特征在于，所述步驟①、②和④攪拌轉速為200-500rpm，步驟③攪拌轉速為800-1000rpm。