[發明專利]一種CLBO晶體拋光工藝在審
| 申請號: | 202011429048.6 | 申請日: | 2020-12-09 |
| 公開(公告)號: | CN112454019A | 公開(公告)日: | 2021-03-09 |
| 發明(設計)人: | 袁英杰;陳曉潔;葉青;李雄;陳偉;張星;陳秋華 | 申請(專利權)人: | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B24B1/00 | 分類號: | B24B1/00;B24B41/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 350003 福建*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 clbo 晶體 拋光 工藝 | ||
1.一種CLBO晶體拋光工藝,其特征在于:對CLBO采用無水拋光工藝,包括拉亮、粗拋、精拋三個工序,各工序使用的拋光輔料均不含水,解決傳統含水拋光易吸潮開裂的技術難題。
2.根據權利要求1所述無水拋光工藝的拉亮工序,其特征在于:
所述拉亮具體在二軸機上使用蓖麻油和W1.0鉆石粉混合液在聚氨酯盤拉亮去除砂眼并控制平行度。
3.根據權利要求1所述無水拋光工藝的粗拋工序,其特征在于:
所述粗拋具體在二軸機上使用蓖麻油在瀝青盤上進行拋光,控制平面度、平行度、光潔度等加工指標。
4.根據權利要求1所述無水拋光工藝的精拋工序,其特征在于:
所述精拋具體在二軸機上使用無水拋光液OPW在黑色絨布盤上進一步拋光,優化光潔度。
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