[發明專利]陰極靶裝置及真空多弧離子鍍膜機

在審

• 申請號: 202011428533.1
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112680701A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 戴麗娜
• 申請（專利權）人: 蘇州科億嘉新技術開發有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/50
• 代理公司: 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246
• 代理人: 季棟林

本發明公開了陰極弧靶裝置及真空多弧離子鍍膜機，涉及離子鍍膜技術領域，為解決現有離子鍍膜機將物件放置在工件上，與陰極弧靶是一個固定機構，在對于物件的不同點進行鍍膜時較為繁瑣的問題。所述離子鍍膜機主體鋼架的內部設置有固定板，所述固定板的下端面設置有螺紋桿，且螺紋桿設置有六個，六個所述螺紋桿均與鍍膜機主體鋼架的下端面螺紋連接，六個所述螺紋桿的下端面均設置有柱腳，所述離子鍍膜機主體鋼架的上方設置有鍍膜機主體。

技術領域

本發明涉及離子鍍膜技術領域，具體為陰極弧靶裝置及真空多弧離子鍍膜機。

背景技術

現代航空工業中使用的鍍膜辦法種類很多，比如電鍍、噴鍍、化學鍍、擴散度以及軋壓等。其中不少鍍膜工藝已為人們掌握，并在生產中發揮了顯著作用。但是，已有的鍍膜工藝跟不上產品日新月異的發展，從而促使人們探索新的鍍膜技術。“離子鍍”就是近十幾年來發展起來的一種最新的真空鍍膜技術。離子鍍的作用過程如下:蒸發源接陽極，工件接陰極，當通以三至五千伏高壓直流電以后，蒸發源與工件之間產生弧光放電。由于真空罩內充有惰性氬氣，在放電電場作用下部分氬氣被電離，從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區。帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表面，致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出，從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。

但是，現有離子鍍膜機將物件放置在工件上，與陰極弧靶是一個固定機構，在對于物件的不同點進行鍍膜時較為繁瑣的問題；因此，不滿足現有的需求，對此我們提出了陰極弧靶裝置及真空多弧離子鍍膜機。

發明內容

本發明的目的在于提供陰極弧靶裝置及真空多弧離子鍍膜機，以解決上述背景技術中提出的現有離子鍍膜機將物件放置在工件上，與陰極弧靶是一個固定機構，在對于物件的不同點進行鍍膜時較為繁瑣的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：陰極弧靶裝置及真空多弧離子鍍膜機，包括離子鍍膜機主體鋼架，所述離子鍍膜機主體鋼架的內部設置有固定板，所述固定板的下端面設置有螺紋桿，且螺紋桿設置有六個，六個所述螺紋桿均與離子鍍膜機主體鋼架的下端面螺紋連接，六個所述螺紋桿的下端面均設置有柱腳，所述離子鍍膜機主體鋼架的上方設置有鍍膜機主體。

優選的，所述鍍膜機主體的上端面設置有伺服電機，所述伺服電機的一側設置有固定件，所述固定件的一側設置有第一輸送管道。

優選的，所述鍍膜機主體的一側設置有第二輸送管道，且第二輸送管道設置有兩個，兩個所述第二輸送管道的下方均設置有第三輸送管道，兩個所述第二輸送管道和第三輸送管道之間設置有連接管道，且連接管道設置有兩個。

優選的，所述鍍膜機主體的前端面設置有運行端口，所述運行端口的前端面設置有檢修擋板，所述檢修擋板通過第一旋轉軸與鍍膜機主體轉動連接，且第一旋轉軸設置有兩個。

優選的，所述檢修擋板一側設置有安裝片，且安裝片設置有兩個，兩個所述安裝片的內部設置有六角鉚釘，且六角鉚釘設置有兩個，所述檢修擋板的內部設置有安裝端口。

優選的，所述鍍膜機主體的內部設置有內腔體，所述內腔體內部的上方設置有中心轉動軸，所述中心轉動軸的兩側均設置有連接桿體，且連接桿體設置有兩個，兩個所述連接桿體通過第二旋轉軸與中心轉動軸轉動連接，且第二旋轉軸設置有兩個，兩個所述連接桿體的一端均設置有電鍍端口，所述電鍍端口通過第三旋轉軸與連接桿體轉動連接，且第三旋轉軸設置有兩個，所述內腔體內部的下方設置有固定基座，所述固定基座的上方設置有夾持機構，所述夾持機構的內部設置有安裝腔體，所述夾持機構內壁的四周均設置有彈簧機構，且彈簧機構設置有四個，所述安裝腔體的內部設置有防滑貼片。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1、本發明通過在鍍膜機主體上設置的伺服電機，以及在鍍膜機主體內部設置的中心轉動軸、第二旋轉軸和第三旋轉軸，讓物件放置在工件上的時候，可以讓操作桿體對物件的任意角度進行電鍍操作，加大操作的便捷性。