[發(fā)明專利]反應室以及爐管設備

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• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112553595A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 張勇;李國慶;李銳;羅偉斌
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/50
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 林明校

本發(fā)明公開了反應室以及爐管設備，其中，反應室，包括：爐體，設置有沿軸向貫通的第一腔體；第一爐管，容置在所述第一腔體內(nèi)，所述第一爐管的材質為不銹鋼材質，所述第一爐管設置有沿軸向貫通的第二腔體；支撐部，至少包括兩個，分別設置在所述第一爐管的軸向的兩端，并支撐所述第一爐管；蓋部，設置在所述第一爐管的軸向的一端，封堵所述第二腔體；門部，設置在所述第一爐管的軸向的另一端，封堵所述第二腔體或者使所述第二腔體被打開。根據(jù)本發(fā)明的反應室，能夠大大降低爐管加工和維護的成本，進而降低反應室的成本。

技術領域

本發(fā)明涉及但不限于光伏電池制造技術領域，尤其涉及反應室以及爐管設備。

背景技術

光伏發(fā)電普遍被認為是一種極具發(fā)展前景的產(chǎn)業(yè)。太陽能光伏電池(以下簡稱光伏電池)是一種將太陽能轉化為電能的電池，是光伏發(fā)電的核心部件之一。在光伏電池的制造過程中，爐管設備是核心設備之一。爐管設備包括擴散爐、氧化爐、退火爐、PECVD以及LPCVD等，廣泛作為光伏電池的擴散、氧化、退火以及沉積等制程的反應室而使用。

已知的爐管設備的反應室普遍采用石英管，原因在于石英具有極佳的耐高溫強度、熱膨脹系數(shù)小以及耐腐蝕性等優(yōu)點。但是石英管同樣存在一些問題，例如，石英管價格高但是壽命短，且由于石英管具有脆性特征，破損后難以修復，即使可修復，成本也非常高昂。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決已知技術中存在的技術問題之一。為此，本發(fā)明提出了一種反應室，能夠大大降低成本。此外，本發(fā)明還提出了具有該反應室的爐管設備。

根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的反應室，包括：爐體，設置有沿軸向貫通的第一腔體；第一爐管，容置在所述第一腔體內(nèi)，所述第一爐管的材質為不銹鋼材質，所述第一爐管設置有沿軸向貫通的第二腔體；支撐部，至少包括兩個，分別設置在所述第一爐管的軸向的兩端，并支撐所述第一爐管；蓋部，設置在所述第一爐管的軸向的一端，封堵所述第二腔體；門部，設置在所述第一爐管的軸向的另一端，封堵所述第二腔體或者使所述第二腔體被打開。

根據(jù)本發(fā)明第一方面的反應室，至少具有如下有益效果：由于第一爐管的材質選擇了不銹鋼材質，因此，能夠容易地加工和維護爐管，由此能夠大大降低爐管加工和維護的成本，進而降低反應室的成本。

在一些實施例中，所述第一爐管的材質為從304號不銹鋼、309號不銹鋼、309S號不銹鋼、309L號不銹鋼、310號不銹鋼、310S號不銹鋼、310L號不銹鋼以及316L號不銹鋼中選擇的一種。

在一些實施例中，所述第一爐管的壁厚為0.8mm至6mm。

在一些實施例中，所述第一爐管的橫截面呈圓形狀或者矩形狀。

在一些實施例中，還包括管路部，所述管路部經(jīng)由所述蓋部，伸進所述第二腔體內(nèi)。

在一些實施例中，所述管路部包括多根管件，所述管件的材料為石英材料或者不銹鋼材料。

在一些實施例中，所述管路部包括冷卻管件。

在一些實施例中，所述管路部包括進氣管件，所述進氣管件沿軸向開設有多個進氣孔。

在一些實施例中，所述管路部包括抽氣管件，所述抽氣管件沿軸向開設有多個抽氣孔。

在一些實施例中，所述第一爐管的內(nèi)壁上，設置有卡套，所述管件在所述第二腔體內(nèi)被所述卡套支撐。

在一些實施例中，所述反應室為PECVD設備的反應室，所述第一爐管通過串聯(lián)電阻接地。

在一些實施例中，所述反應室為雙爐管結構，所述反應室還包括第二爐管，所述第二爐管設置有沿軸向貫通的第三腔體，所述第二爐管容置在所述第一腔體內(nèi)，所述第一爐管容置在所述第三腔體內(nèi)。

根據(jù)本發(fā)明第二方面實施例的爐管設備，包括上述任一項的反應室。