[發(fā)明專利]一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011419640.8
• 申請日: 2020-12-06
• 公開（公告）號: CN113186511B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬君健;王曉瑩;徐宏;吳振華;周德金;鐘磊
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫英諾賽思科技有限公司;清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院;江南大學(xué)
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46
• 代理公司: 北京智宇正信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11876
• 代理人: 于理科

1.一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，包括支腿（1）和外殼體（2），其特征在于：所述外殼體（2）底端的四個拐角處固定連接有支腿（1），所述外殼體（2）的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)殼體（3），所述外殼體（2）一端四個拐角處的內(nèi)部設(shè)置有卡槽（7），所述外殼體（2）的一端設(shè)置有蓋板（4），所述蓋板（4）一端的四個拐角處固定連接有圓塊（8），所述蓋板（4）的另一端固定連接有把手（23），所述外殼體（2）的內(nèi)壁固定連接有電熱絲（5），所述外殼體（2）和內(nèi)殼體（3）的內(nèi)部設(shè)置有保溫結(jié)構(gòu)（6），所述內(nèi)殼體（3）的內(nèi)部設(shè)置有輔助旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)（24），所述外殼體（2）的頂端設(shè)置有第一氣室（10），所述第一氣室（10）的底端設(shè)置有出氣管（9），所述第一氣室（10）的頂端設(shè)置有第二氣室（12），所述第二氣室（12）的頂端設(shè)置有生長室（14），所述生長室（14）的一側(cè)設(shè)置有進氣口（15），所述生長室（14）的頂端活動連接有密封蓋（16），所述生長室（14）與第二氣室（12）的內(nèi)部之間設(shè)置有連接口（13），所述第二氣室（12）與第一氣室（10）的內(nèi)部之間設(shè)置有輔助均勻結(jié)構(gòu)（11），所述第一氣室（10）設(shè)置有兩組，每一組上均設(shè)置有輔助均勻結(jié)構(gòu)（11），所述第一氣室（10）的大小相同，所述第一氣室（10）關(guān)于外殼體（2）的中心線呈對稱分布，所述出氣管（9）與內(nèi)殼體（3）的內(nèi)部相連通；所述生長室（14）的內(nèi)部設(shè)置有便于拿取結(jié)構(gòu)；所述便于拿取結(jié)構(gòu)包括固定柱（22），所述固定柱（22）的底端與生長室（14）內(nèi)部的底端固定連接，所述固定柱（22）的外部設(shè)置有套筒（19），所述套筒（19）的頂端固定連接有凸塊（18），所述套筒（19）的外部固定連接有軸套（21），所述軸套（21）的外部固定連接有放置板（17），所述放置板（17）頂端的內(nèi)部設(shè)置有放置槽（20）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述保溫結(jié)構(gòu)（6）由預(yù)留槽（601）、安置槽（602）、巖棉（603）和卡塊（604）組成，所述安置槽（602）設(shè)置在內(nèi)殼體（3）和支腿（1）的內(nèi)部之間，所述安置槽（602）的內(nèi)部設(shè)置有巖棉（603），所述巖棉（603）的一端設(shè)置有卡塊（604），所述卡塊（604）的一端設(shè)置有預(yù)留槽（601），所述卡塊（604）的底端與內(nèi)殼體（3）的外部分別固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述預(yù)留槽（601）嵌在支腿（1）一端的內(nèi)部，所述卡塊（604）的一端嵌在預(yù)留槽（601）的內(nèi)部，所述巖棉（603）包裹在內(nèi)殼體（3）的外壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述輔助均勻結(jié)構(gòu)（11）由框架（1101）、圓槽（1102）、連接座（1103）、葉片（1104）和軸體（1105）組成，所述圓槽（1102）設(shè)置在第一氣室（10）與第二氣室（12）的內(nèi)部之間，所述圓槽（1102）的頂端和底端固定連接有框架（1101），所述框架（1101）的內(nèi)部固定連接有連接座（1103），所述連接座（1103）之間固定連接有軸體（1105），所述軸體（1105）的外壁固定連接有葉片（1104）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述葉片（1104）設(shè)置有若干個，所述軸體（1105）的外壁呈等間距排列。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述圓槽（1102）與第一氣室（10）之間相對應(yīng)，所述圓槽（1102）與第一氣室（10）和第二氣室（12）之間相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述套筒（19）套接在固定柱（22）的外部，所述放置板（17）呈圓形，所述放置槽（20）的底部設(shè)置有加熱片。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可量產(chǎn)氮化鎵的全立式HPVE設(shè)備，其特征在于：所述輔助旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)（24）由襯底（2401）、支撐板（2402）、支撐座（2403）、連接板（2404）、轉(zhuǎn)軸（2405）、減速電機（2406）、安裝塊（2407）和安裝槽（2408）組成，所述減速電機（2406）設(shè)置在支腿（1）的底端，所述減速電機（2406）的輸出端通過驅(qū)動軸貫穿支腿（1）底端的內(nèi)部并固定連接有轉(zhuǎn)軸（2405），所述轉(zhuǎn)軸（2405）的頂端固定連接有連接板（2404），所述連接板（2404）頂端的兩側(cè)固定連接有安裝塊（2407），所述連接板（2404）的頂端設(shè)置有支撐座（2403），所述支撐座（2403）底端的內(nèi)部設(shè)置有安裝槽（2408），所述支撐座（2403）的頂端固定連接有支撐板（2402），所述支撐板（2402）的頂端設(shè)置有襯底（2401）。