[發(fā)明專利]一種具有防脫功能的晶片吸附裝置

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• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112599465A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃修海
• 申請（專利權(quán)）人: 南京美津濃電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及一種具有防脫功能的晶片吸附裝置，包括接管和吸嘴，所述連接管豎向設(shè)置，所述吸嘴安裝在連接管的底端，所述連接管上設(shè)有執(zhí)行機(jī)構(gòu)和輔助機(jī)構(gòu)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括執(zhí)行組件和兩個鎖緊組件，所述執(zhí)行組件設(shè)置在連接管內(nèi)，所述鎖緊組件以連接管的軸線為中心周向均勻分布，所述執(zhí)行組件包括磁鐵盤、第一電磁鐵、連接桿、支撐環(huán)、輔助塊和兩個第一彈簧，所述鎖緊組件包括導(dǎo)孔、移動桿、第二彈簧、滾輪和至少兩個第二電磁鐵，該具有防脫功能的晶片吸附裝置通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)實現(xiàn)了吸嘴吸附晶片的功能，不僅如此，還通過輔助機(jī)構(gòu)還可以防止吸嘴帶動晶片移動過程中因風(fēng)阻過大而使晶片從吸嘴上脫落，提高了穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路生產(chǎn)加工領(lǐng)域，特別涉及一種具有防脫功能的晶片吸附裝置。

背景技術(shù)

集成電路或稱微電路、微芯片、芯片，在電子學(xué)中是一種把電路小型化的方式，并通常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上，晶片吸附設(shè)備是晶片封裝設(shè)備的一種，其是通過吸嘴吸附晶圓上的晶片移動至基板上的設(shè)備。

現(xiàn)有的晶片吸附設(shè)備在工作過程中，大都是通過電動真空系統(tǒng)使吸嘴內(nèi)的氣壓降低而實現(xiàn)吸嘴吸附晶片的功能，而當(dāng)電動真空吸附發(fā)生斷電故障時，會使吸嘴內(nèi)的氣壓恢復(fù)至大氣壓，導(dǎo)致吸嘴無法吸附晶片而使晶片掉落，造成損失，降低了實用性，不僅如此，為了提高工作效率，吸嘴吸附晶片平移速度較快，晶片在風(fēng)阻的作用下易從吸嘴上脫落，降低了穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種具有防脫功能的晶片吸附裝置。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種具有防脫功能的晶片吸附裝置，包括連接管和吸嘴，所述連接管豎向設(shè)置，所述吸嘴安裝在連接管的底端，所述連接管上設(shè)有執(zhí)行機(jī)構(gòu)和輔助機(jī)構(gòu)；

所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括執(zhí)行組件和兩個鎖緊組件，所述執(zhí)行組件設(shè)置在連接管內(nèi)，所述鎖緊組件以連接管的軸線為中心周向均勻分布；

所述執(zhí)行組件包括磁鐵盤、第一電磁鐵、連接桿、支撐環(huán)、輔助塊和兩個第一彈簧，所述輔助塊的形狀為圓臺，所述輔助塊、連接桿、支撐環(huán)和磁鐵盤均與連接管同軸設(shè)置，所述磁鐵盤的直徑與連接管的內(nèi)徑相等且大于輔助塊的最大直徑，所述輔助塊的最大直徑大于連接環(huán)的外徑，所述磁鐵盤位于吸嘴的上方，所述磁鐵盤與連接管的內(nèi)壁滑動且密封連接，所述第一電磁鐵位于磁鐵盤的下方，所述第一電磁鐵與磁鐵盤正對設(shè)置且與連接管的內(nèi)壁固定連接，所述第一彈簧以連接管的軸線為中心周向均勻分布在磁鐵盤的底部，所述磁鐵盤通過第一彈簧與連接管的內(nèi)壁連接，所述連接桿的底端固定在磁鐵盤的頂部，所述輔助塊的最大直徑的移動固定在連接桿的頂端，所述支撐環(huán)位于輔助塊和磁鐵盤之間且與連接管的內(nèi)壁固定連接，所述連接桿穿過支撐環(huán)且與支撐環(huán)滑動連接，所述輔助塊與支撐環(huán)抵靠，所述支撐環(huán)與磁鐵盤之間的距離大于輔助塊的高度；

所述鎖緊組件包括導(dǎo)孔、移動桿、第二彈簧、滾輪和至少兩個第二電磁鐵，所述導(dǎo)孔設(shè)置在連接觀上，所述移動桿的軸線與連接管的軸線垂直且相交，所述移動桿穿過導(dǎo)孔且與導(dǎo)孔的內(nèi)壁滑動連接，所述滾輪位于連接管內(nèi)且固定在移動桿的靠近連接管軸線的一端，所述滾輪與輔助塊的外周抵靠，所述移動桿的靠近連接管軸線的一端通過第二彈簧與連接管的內(nèi)壁連接，所述第二電磁鐵以移動桿的軸線為中心周向均勻分布在連接管內(nèi)且與移動桿固定連接，所述第二電磁鐵與連接管的內(nèi)壁之間設(shè)有間隙，所述連接管的制作材料為鐵，所述滾輪的頂部與輔助塊底部之間的距離和支撐環(huán)與磁鐵盤之間的距離相等，所述滾輪的直徑大于移動桿的直徑且小于支撐環(huán)的高度；

所述輔助機(jī)構(gòu)包括移動管、密封環(huán)和至少兩個輔助組件，所述移動管和密封環(huán)均與連接管同軸設(shè)置，所述連接管穿過密封環(huán)，所述連接管與密封環(huán)滑動且密封連接，所述密封環(huán)和吸嘴均位于移動管內(nèi)，所述吸嘴與移動管底部所在平面之間設(shè)有間隙，所述密封環(huán)與移動管的內(nèi)壁密封且固定連接，所述輔助組件以連接管的軸線為中心周向均勻分布；