[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011409949.9 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113161316A | 公開(公告)日: | 2021-07-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 丸山一哉;佐野努;西城淳一 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 鎧俠股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/49 | 分類號(hào): | H01L23/49;H01L21/60;H01L25/18 |
| 代理公司: | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人: | 張世俊 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 裝置 | ||
1.一種半導(dǎo)體裝置,具備:
第1電極;
第2電極;以及
導(dǎo)線,在所述第1電極與所述第2電極之間延伸;且
所述導(dǎo)線包含:
第1導(dǎo)電體,與所述第1電極及所述第2電極相接;以及
第2導(dǎo)電體,以不與所述第1電極及所述第2電極相接的方式設(shè)置在所述第1導(dǎo)電體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第1導(dǎo)電體包含鈀(Pd)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第2導(dǎo)電體包含選自銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、及鋁(Al)中的至少1種金屬。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其具備設(shè)置著所述第1電極的配線襯底。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其具備設(shè)置著所述第2電極的第1半導(dǎo)體芯片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置,其還具備第2半導(dǎo)體芯片,所述第2半導(dǎo)體芯片設(shè)置在所述第1半導(dǎo)體芯片上,且形成著第3電極,
所述導(dǎo)線在所述第2電極與所述第3電極之間延伸,
所述第2導(dǎo)電體不與所述第3電極相接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第1半導(dǎo)體芯片是功率半導(dǎo)體。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述導(dǎo)線具有與所述第1電極相接的第1部分、與所述第2電極相接的第2部分、以及所述第1部分及所述第2部分之間的第3部分,
所述導(dǎo)線的所述第1部分的直徑是所述導(dǎo)線的所述第2部分或所述第3部分的直徑的1/5以上1/2以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述導(dǎo)線具有100微米(μm)以上500微米(μm)以下的直徑。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述導(dǎo)線具有15微米(μm)以上80微米(μm)以下的直徑。
12.一種半導(dǎo)體裝置,具備:
配線襯底,設(shè)置著第1電極;
第1半導(dǎo)體芯片,設(shè)置著第2電極;
第2半導(dǎo)體芯片,設(shè)置在所述第1半導(dǎo)體芯片上,且設(shè)置著第3電極;以及
導(dǎo)線,在所述第1電極、所述第2電極及所述第3電極之間延伸;且
所述導(dǎo)線包含:
第1導(dǎo)電體,與所述第1電極、所述第2電極及所述第3電極相接;以及
第2導(dǎo)電體,以不與所述第1電極、所述第2電極及所述第3電極相接的方式設(shè)置在所述第1導(dǎo)電體內(nèi);且
所述第1導(dǎo)電體包含鈀(Pd),
所述第2導(dǎo)電體包含選自銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、及鋁(Al)中的至少1種金屬。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第1半導(dǎo)體芯片是存儲(chǔ)器件、集成電路、分立半導(dǎo)體、或LED(Light emitting diode)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第1半導(dǎo)體芯片是功率半導(dǎo)體。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述導(dǎo)線具有與所述第1電極相接的第1部分、與所述第2電極相接的第2部分、以及所述第1部分及所述第2部分之間的第3部分,
所述導(dǎo)線的所述第1部分的直徑是所述導(dǎo)線的所述第2部分或所述第3部分的直徑的1/5以上1/2以下。
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