[發(fā)明專利]一種掩膜條分類設(shè)備和掩膜條分類方法

在審

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• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112642746A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈志昇;駱麗兵
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34
• 代理公司: 福州市博深專利事務(wù)所(普通合伙) 35214
• 代理人: 張明

本發(fā)明涉及掩膜條分類技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種掩膜條分類設(shè)備和掩膜條分類方法，包括機(jī)架和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，機(jī)架上設(shè)有掩膜載臺，移動(dòng)機(jī)構(gòu)位于掩膜載臺上方，掩膜載臺靠近移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)面上放置有掩膜條包裝盒，掩膜條包裝盒中放置有兩個(gè)以上的金屬掩膜條，相鄰兩個(gè)金屬掩膜條之間設(shè)有無塵紙，通過在移動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近掩膜載臺的一側(cè)面上連接有兩個(gè)以上的吸附機(jī)構(gòu)，機(jī)架一側(cè)面的相對兩端上分別設(shè)置掩膜條張力機(jī)構(gòu)，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近掩膜載臺的一側(cè)面設(shè)置開孔量測機(jī)構(gòu)，這樣降低金屬掩膜條張網(wǎng)收縮力對金屬掩膜框的受力形變，實(shí)現(xiàn)張網(wǎng)良率和張網(wǎng)精度的改善，降低開孔位置的誤差，從而降低后續(xù)蒸鍍的混色等問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩膜條分類技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種掩膜條分類設(shè)備和掩膜條分類方法。

背景技術(shù)

OLED顯示面板具有厚度薄、功耗低、可彎曲及柔性顯示等優(yōu)勢，近年來成為下一代面板顯示器的發(fā)展趨勢。

現(xiàn)有的OLED面板是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)源將有機(jī)材料加熱后蒸發(fā)，有機(jī)材料透過金屬掩膜板(Mask)上開孔位置定義玻璃基板上形成薄膜位置，成膜位置必須是玻璃基板上被指定的發(fā)光位置，玻璃基板的電流才能有效傳入OLED器件發(fā)光，所以金屬掩膜板開孔位置的精度極為重要；而金屬掩膜板上開孔位置的精準(zhǔn)度(一般手機(jī)屏幕的位置精度為±3μm)，主要取決于金屬掩膜板的組裝精度和金屬掩膜條(一般一塊掩膜板由6-8掩膜條組成)的開孔精度，而金屬掩膜條(sheet)的開孔精度一般≥±15μm，其工藝制程精度遠(yuǎn)大于±3μm，這也是OLED的一大難題。

將金屬掩膜條焊于掩膜框時(shí)，金屬掩膜條會(huì)產(chǎn)生收縮力，導(dǎo)致金屬掩膜板框(Frame)受力形變，從而導(dǎo)致金屬掩膜板片上開孔位置向金屬掩膜框的中心位置偏移。因此，位置精度要求高的組裝掩膜板設(shè)備“張網(wǎng)機(jī)”需要有一組機(jī)構(gòu)(CF：反作用力裝置)預(yù)先施力于金屬掩膜板框上，待焊接掩膜片于掩膜板框后將原先預(yù)施于掩膜板框上的力退出，即可避免掩膜板片上開孔位置向金屬掩膜框的中心位置偏移。即CF的設(shè)計(jì)值與每條金屬掩膜條的張力設(shè)計(jì)值是息息相關(guān)的，最終會(huì)實(shí)現(xiàn)相互抵消，防止金屬掩膜板框進(jìn)一步形變導(dǎo)致位置偏移。金屬掩膜條廠商出貨時(shí)，一般會(huì)對金屬掩膜條按開孔位置精度的差異進(jìn)行分類，而使用者在產(chǎn)品入料時(shí)，也不會(huì)進(jìn)行精確的開孔位置分類。這就導(dǎo)致在張網(wǎng)環(huán)節(jié)過程中，每條金屬掩膜條的實(shí)際張力值與設(shè)計(jì)值有較大差異，若每個(gè)金屬掩膜條的實(shí)際張力均不同，多條金屬掩膜條的收縮力之和無法與CF設(shè)計(jì)值進(jìn)行抵消，則會(huì)產(chǎn)生更大的金屬掩膜板框形變，導(dǎo)致開孔位置偏移，這也是OLED張網(wǎng)良率較低的原因之一。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種掩膜條分類設(shè)備和掩膜條分類方法。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的第一種技術(shù)方案為：

一種掩膜條分類設(shè)備，包括機(jī)架和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架上設(shè)有掩膜載臺，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)位于掩膜載臺上方，所述掩膜載臺靠近移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)面上放置有掩膜條包裝盒，所述掩膜條包裝盒中放置有兩個(gè)以上的金屬掩膜條，相鄰兩個(gè)所述金屬掩膜條之間設(shè)有無塵紙，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近掩膜載臺的一側(cè)面上連接有兩個(gè)以上的吸附機(jī)構(gòu)，所述吸附機(jī)構(gòu)被配置為對掩膜條包裝盒中的金屬掩膜條和無塵紙進(jìn)行吸附；

所述機(jī)架一側(cè)面的相對兩端上分別設(shè)有掩膜條張力機(jī)構(gòu)，所述掩膜條張力機(jī)構(gòu)被配置為對金屬掩膜條進(jìn)行張力以使金屬掩膜條的張力值等于預(yù)設(shè)張力值；

所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近掩膜載臺的一側(cè)面還設(shè)有開孔量測機(jī)構(gòu)，所述開孔量測機(jī)構(gòu)位于金屬掩膜條上方。

本發(fā)明采用的第二種技術(shù)方案為：

一種基于掩膜條分類設(shè)備的掩膜條分類方法，包括以下步驟：

步驟S1、控制開孔量測機(jī)構(gòu)對金屬掩膜條的開孔位置進(jìn)行量測，得到實(shí)際量測坐標(biāo)；

步驟S2、通過得到的所述實(shí)際量測坐標(biāo)與預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)量測坐標(biāo)，計(jì)算得到量測因子；