[發明專利]一種掩膜條分類設備和掩膜條分類方法

在審

• 申請號: 202011409683.8
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112642746A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 沈志昇;駱麗兵
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 張明

1.一種掩膜條分類設備，其特征在于，包括機架和移動機構，所述機架上設有掩膜載臺，所述移動機構位于掩膜載臺上方，所述掩膜載臺靠近移動機構的一側面上放置有掩膜條包裝盒，所述掩膜條包裝盒中放置有兩個以上的金屬掩膜條，相鄰兩個所述金屬掩膜條之間設有無塵紙，所述移動機構靠近掩膜載臺的一側面上連接有兩個以上的吸附機構，所述吸附機構被配置為對掩膜條包裝盒中的金屬掩膜條和無塵紙進行吸附；

所述機架一側面的相對兩端上分別設有掩膜條張力機構，所述掩膜條張力機構被配置為對金屬掩膜條進行張力以使金屬掩膜條的張力值等于預設張力值；

所述移動機構靠近掩膜載臺的一側面還設有開孔量測機構，所述開孔量測機構位于金屬掩膜條上方。

2.根據權利要求1所述的掩膜條分類設備，其特征在于，所述吸附機構為真空吸附機構，所述真空吸附機構的吸附頭上開設有兩個以上的吸附孔。

3.根據權利要求2所述的掩膜條分類設備，其特征在于，所述吸附孔的孔徑大小為0.5mm-0.7mm。

4.根據權利要求2所述的掩膜條分類設備，其特征在于，所述吸附孔的豎直截面的形狀為三角形。

5.一種基于掩膜條分類設備的掩膜條分類方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1、控制開孔量測機構對金屬掩膜條的開孔位置進行量測，得到實際量測坐標；

步驟S2、通過得到的所述實際量測坐標與預設的基準量測坐標，計算得到量測因子；

步驟S3、若計算得到的所述量測因子大于預設的規格值，則控制掩膜條張力機構對金屬掩膜條進行一次張力操作；

步驟S4、在一次張力操作結束后，執行步驟S1-S3，直至所述量測因子小于或等于預設的規格值時，執行步驟S5；

步驟S5、獲取金屬掩膜條當前的張力值，并根據所述張力值對金屬掩膜條進行分類。

6.根據權利要求5所述的掩膜條分類方法，其特征在于，步驟S3具體為：

若計算得到的所述量測因子大于預設的規格值，且所述量測大于零，則控制掩膜條張力機構對金屬掩膜條進行一次增大張力操作；

若計算得到的所述量測因子大于預設的規格值，且所述量測小于零，則控制掩膜條張力機構對金屬掩膜條進行一次減小張力操作。

7.根據權利要求5所述的掩膜條分類方法，其特征在于，步驟S1具體為：控制開孔量測機構對金屬掩膜條相對兩端的邊沿處的開孔位置進行量測，得到實際量測坐標。