[發明專利]一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法

在審

• 申請號: 202011406870.0
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112557874A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 王玉龍;周建青;王華;王錦;季海英
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/067;B08B1/00;B08B5/02
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 宋振宇

本發明公開了一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，自動控制探針臺系統實時抓取測試的數據，將數據按不同測試項進行分別處理；本發明提供的一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，本申請方案可通過后臺系統實時對數據的抓取并進行分析，根據異常等級選擇不同的清針方式，也可以將多種清針方式進行組合，一次性進行清針處理，提高清針的效果，完全不需要人工進行干預，系統通過設置清針頻率的下限和上限，設置下限來避免過高頻率的清針而多度磨損針卡，設置上限來增加測試的穩定性。

技術領域

本發明涉及集成電路晶圓測試技術領域，進一步說，尤其涉及一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法。

背景技術

集成電路在晶圓測試階段，需要結合探針臺和探針卡來進行測試，在測試過程中，由于靜電原因探針卡的針尖可能會沾上鋁屑、毛發或測試環境中的一些其他垃圾，此時需要對探針卡進行處理，去掉針尖上的雜物，使探針卡針尖保持穩定狀態。

現有技術一：探針臺提供單一的清針方式。

目前，探針臺雖然可提供多種清針方式，但是實際測試過程中只能選一種清針方式，最常通用的為砂紙磨針，另外的幾種清針功能就成為了擺設。

現有技術二：砂紙磨針不能處理所有的針尖問題。

砂紙磨針是最常用的探針臺清針方式，但遇到一些塊狀的沾污，就需要把探針卡拿下來offline清針，探針卡上下探針臺存在一定操作風險，花費大量時間，并且需要專業人士進行清針處理。

現有技術三：清針頻率固定設死。

針對每個產品探針臺會設置一個清針的頻率，一般不會修改，遇到突發情況需要清針時就需要人為進行干預。

發明內容

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，通過系統自動判斷測試數據失效情況，選擇探針臺合適的清針方式，既降低了探針卡的針尖磨損程度，又提升了清針的效果，其中，具體技術方案為：

自動控制探針臺系統實時抓取測試的數據，將數據按不同測試項進行分別處理；

接觸測試：查看二極管導通電壓，發現連續幾顆電壓絕對值變大，通過砂紙進行磨針，發現連續幾顆電壓絕對值變小，選擇毛刷或氣槍吹氣來進行處理；

電源短路測試：查看電源管腳在加壓狀態下的電流值，連續幾顆變大，使用氣槍或毛刷進行處理；

功能測試一：查看各個管腳的工作狀態，連續幾顆功能不過，先進行砂紙磨針，繼續測試依然功能不過，進行毛刷加砂紙磨針的組合方式，還是不過，進行毛刷加氣槍加砂紙磨針的組合方式；

功能測試二：查看各個管腳的工作狀態，連續幾顆功能不過，先進行砂紙磨針，繼續測試依然功能不過，進行毛刷加氣槍磨針的組合方式，還是不過，進行毛刷加氣槍加砂紙磨針的組合方式。

上述的一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，其中：自動控制探針臺系統包含：數據實時抓取模塊，用于將測試數據實時抓取出來；數據存儲模塊，用于將提煉后的數據存儲在數據庫中；數據分析模塊，讀取數據庫中存儲的數據，分析關鍵參數，反饋給測試機和探針臺；數據判斷更新模塊，用于結合歷史清針數據和效果定時更新清針判斷規則，使清針方式達到最優效果。

上述的一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，其中：自動控制探針臺系統清針流程為：1)每個產品設定一個清針頻率，開始測試后探針臺實時判斷是否達到清針頻率，達到后探針臺自動使用砂紙磨針；2)在未達到清針頻率時，一旦出現測試異常，由系統通過數據的分析判斷使用哪種清針方式。