[發明專利]一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法

在審

• 申請號: 202011406870.0
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112557874A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 王玉龍;周建青;王華;王錦;季海英
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/067;B08B1/00;B08B5/02
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 宋振宇

1.一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，其特征在于：自動控制探針臺系統實時抓取測試的數據，將數據按不同測試項進行分別處理；

接觸測試：查看二極管導通電壓，發現連續幾顆電壓絕對值變大，通過砂紙進行磨針，發現連續幾顆電壓絕對值變小，選擇毛刷或氣槍吹氣來進行處理；

電源短路測試：查看電源管腳在加壓狀態下的電流值，連續幾顆變大，使用氣槍或毛刷進行處理；

功能測試一：查看各個管腳的工作狀態，連續幾顆功能不過，先進行砂紙磨針，繼續測試依然功能不過，進行毛刷加砂紙磨針的組合方式，還是不過，進行毛刷加氣槍加砂紙磨針的組合方式；

功能測試二：查看各個管腳的工作狀態，連續幾顆功能不過，先進行砂紙磨針，繼續測試依然功能不過，進行毛刷加氣槍磨針的組合方式，還是不過，進行毛刷加氣槍加砂紙磨針的組合方式。

2.如權利要求1所述的一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，其特征在于：自動控制探針臺系統包含：數據實時抓取模塊，用于將測試數據實時抓取出來；數據存儲模塊，用于將提煉后的數據存儲在數據庫中；數據分析模塊，讀取數據庫中存儲的數據，分析關鍵參數，反饋給測試機和探針臺；數據判斷更新模塊，用于結合歷史清針數據和效果定時更新清針判斷規則，使清針方式達到最優效果。

3.如權利要求2所述的一種晶圓測試過程中自動控制磨針的方法，其特征在于：自動控制探針臺系統清針流程為：1)每個產品設定一個清針頻率，開始測試后探針臺實時判斷是否達到清針頻率，達到后探針臺自動使用砂紙磨針；2)在未達到清針頻率時，一旦出現測試異常，由系統通過數據的分析判斷使用哪種清針方式。