[發明專利]工件取放組件

有效

• 申請號: 202011406193.2
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN112499237B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 宋俊超;張虎威;王廣永;王嗣陽
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G43/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發明提供一種工件取放組件，包括控制裝置、驅動裝置和抓取結構，該控制裝置能夠控制驅動裝置驅動抓取結構沿豎直方向和水平方向運動，該驅動裝置能夠根據驅動裝置在豎直方向的載荷和在水平方向的載荷向控制裝置發送豎直載荷反饋信息和水平載荷反饋信息，該控制裝置用于控制驅動裝置驅動抓取結構進行取放操作，并在豎直載荷反饋信息或水平載荷反饋信息超出當前步驟對應的反饋信息范圍時，判定取放操作出現異常。在本發明中，控制裝置能夠根據抓取結構、驅動裝置的受力情況及時發現異常，提高半導體工藝的安全性。

技術領域

本發明涉及半導體設備領域，具體地，涉及一種用于半導體設備的工件取放組件。

背景技術

在半導體清洗機生產環節，需要通過機械手抓取存放于清洗液中的工件，以實現工件的取放以及工件在清洗槽之間的轉移等操作。在現有技術中，機械手通常包括勾爪和用于驅動勾爪運動的機械裝置，由機械裝置驅動勾爪伸入清洗液中，并勾住工件的掛耳，從而將工件提起并撈出清洗液。

然而，利用現有的機械手進行工件轉移操作時，常出現難以確定工件位置、工件在轉移過程中受損等問題，增加了清洗機的維護成本、影響清洗生產線的生產節奏。因此，如何提供一種能夠提高工件轉移操作的安全性、可控性的裝置，成為本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明旨在提供一種工件取放組件，該工件取放組件能夠提高工件轉移操作的安全性。

為實現上述目的，作為本發明的一個方面，提供一種用于半導體設備的工件取放組件，包括控制裝置、驅動裝置和抓取結構，所述控制裝置能夠控制所述驅動裝置驅動所述抓取結構沿豎直方向上升并抓取工件或者下降并放下所述工件，還能夠控制所述驅動裝置驅動所述抓取結構沿水平方向運動，所述驅動裝置能夠根據所述驅動裝置在豎直方向的載荷向所述控制裝置發送豎直載荷反饋信息，還能夠根據所述驅動裝置在水平方向的載荷向所述控制裝置發送水平載荷反饋信息，所述控制裝置用于控制所述驅動裝置驅動所述抓取結構進行取放操作，并在所述豎直載荷反饋信息或所述水平載荷反饋信息超出當前步驟對應的反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現異常。

優選地，所述取放操作包括依次進行的如下步驟：

驅動所述抓取結構下降至脫離高度；

驅動所述抓取結構沿水平方向靠近所述工件并運動至抓取位置，在所述抓取結構位于所述抓取位置時，所述抓取結構能夠上升并抓取所述工件；

驅動所述抓取結構沿豎直方向上升至運行高度，以使得所述抓取結構拾起所述工件；

驅動所述抓取結構沿水平方向帶動所述工件運動至目標位置。

優選地，所述控制裝置用于在驅動所述抓取結構下降至脫離高度的步驟中，所述豎直載荷反饋信息超出第一反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現異常。

優選地，所述控制裝置用于在驅動所述抓取結構運動至抓取位置的步驟中，所述水平載荷反饋信息超出第二反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現異常。

優選地，所述抓取結構沿豎直方向上升至臨界高度時，所述抓取結構與所述工件接觸；

所述控制裝置還用于在所述抓取結構上升至所述臨界高度，且所述豎直載荷反饋信息超出第三反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現異常。

優選地，所述控制裝置還用于在所述抓取結構由所述臨界高度上升至所述運行高度的過程中，所述豎直載荷反饋信息超出第四反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現異常。

優選地，所述控制裝置還用于在所述抓取結構上升至所述臨界高度，且所述豎直載荷反饋信息超出第二反饋信息范圍時，驅動所述抓取結構下降至所述脫離高度。

優選地，所述控制裝置還用于在驅動所述抓取結構下降至所述脫離高度后，驅動所述抓取結構沿水平方向運動至初始位置并沿豎直方向上升至所述運行高度。