[發(fā)明專利]工件取放組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011406193.2
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN112499237B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋俊超;張虎威;王廣永;王嗣陽
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G43/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種用于半導體設(shè)備的工件取放組件，包括控制裝置、驅(qū)動裝置和抓取結(jié)構(gòu)，所述控制裝置能夠控制所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿豎直方向上升并抓取工件或者下降并放下所述工件，以及控制所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向運動，其特征在于，所述驅(qū)動裝置能夠根據(jù)所述驅(qū)動裝置在所述豎直方向的載荷和在所述水平方向的載荷向所述控制裝置發(fā)送豎直載荷反饋信息和水平載荷反饋信息，所述控制裝置用于控制所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)進行取放操作，并在所述豎直載荷反饋信息或所述水平載荷反饋信息超出當前步驟對應的反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現(xiàn)異常；

其中，所述驅(qū)動裝置包括水平驅(qū)動裝置和豎直驅(qū)動裝置，所述控制裝置能夠控制所述豎直驅(qū)動裝置驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿豎直方向上升或下降，并控制所述水平驅(qū)動裝置驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向運動；所述水平驅(qū)動裝置包括第一電機，且所述第一電機用于提供驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向運動的動力，所述豎直驅(qū)動裝置包括第二電機，且所述第二電機用于提供驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿豎直方向上升或下降的動力；所述水平載荷反饋信息為所述第一電機的扭矩，所述豎直載荷反饋信息為所述第二電機的扭矩。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置具體用于控制所述驅(qū)動裝置依次進行如下步驟：

驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)下降至脫離高度；

驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向靠近所述工件并運動至抓取位置，在所述抓取結(jié)構(gòu)位于所述抓取位置時，所述抓取結(jié)構(gòu)能夠上升并抓取所述工件；

驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿豎直方向上升至運行高度，以使得所述抓取結(jié)構(gòu)拾起所述工件；

驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向帶動所述工件運動至目標位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置還用于在驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)下降至所述脫離高度的步驟中，所述豎直載荷反饋信息超出第一反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現(xiàn)異常。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置還用于在驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)運動至所述抓取位置的步驟中，所述水平載荷反饋信息超出第二反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現(xiàn)異常。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件取放組件，其特征在于，當所述抓取結(jié)構(gòu)沿所述豎直方向上升至臨界高度時，所述抓取結(jié)構(gòu)與所述工件接觸；

所述控制裝置還用于在所述抓取結(jié)構(gòu)上升至所述臨界高度，且所述豎直載荷反饋信息超出第三反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現(xiàn)異常。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置還用于在所述抓取結(jié)構(gòu)由所述臨界高度上升至所述運行高度的過程中，所述豎直載荷反饋信息超出第四反饋信息范圍時，判定所述取放操作出現(xiàn)異常。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置還用于在所述抓取結(jié)構(gòu)上升至所述臨界高度，且所述豎直載荷反饋信息超出第三反饋信息范圍時，驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)下降至所述脫離高度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工件取放組件，其特征在于，所述控制裝置還用于在驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)下降至所述脫離高度后，驅(qū)動所述抓取結(jié)構(gòu)沿水平方向運動至初始位置并沿豎直方向上升至所述運行高度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項所述的工件取放組件，其特征在于，所述水平驅(qū)動裝置包括水平導軌和設(shè)置在所述水平導軌上的水平驅(qū)動機構(gòu)，所述水平驅(qū)動機構(gòu)包括所述第一電機，所述豎直驅(qū)動裝置包括豎直驅(qū)動機構(gòu)和豎直運動塊，所述豎直驅(qū)動機構(gòu)包括所述第二電機，所述控制裝置能夠控制所述水平驅(qū)動機構(gòu)沿所述水平導軌運動，所述豎直驅(qū)動機構(gòu)與所述水平驅(qū)動機構(gòu)固定連接，且所述控制裝置能夠控制所述豎直驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述豎直運動塊沿所述豎直方向運動，所述抓取結(jié)構(gòu)固定連接在所述豎直運動塊上。