[發(fā)明專利]微型麥克風(fēng)防塵裝置及MEMS麥克風(fēng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011404885.3
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN112492481A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 畠山庸平;林育菁
• 申請（專利權(quán)）人: 濰坊歌爾微電子有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 王迎;袁文婷

1.一種微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，包括載體以及設(shè)置在所述載體上的防塵網(wǎng)；其特征在于，所述防塵網(wǎng)包括支撐部和過濾部，所述過濾部通過所述支撐部與所述載體相連；其中，

所述支撐部和所述載體構(gòu)成所述微型麥克風(fēng)防塵裝置的支撐區(qū)，所述過濾部構(gòu)成所述微型麥克風(fēng)防塵裝置的過濾區(qū)；其中，

所述支撐區(qū)包括拾取區(qū)和結(jié)合區(qū)，所述結(jié)合區(qū)由所述支撐部以及所述支撐部與所述載體上下位置對應(yīng)的區(qū)域構(gòu)成，所述拾取區(qū)由所述載體的剩余區(qū)域構(gòu)成；并且，

所述拾取區(qū)的橫截面積大于所述結(jié)合區(qū)的橫截面積。

2.如權(quán)利要求1所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

在所述載體的上方一體成型設(shè)置有臺階區(qū)，所述支撐部架設(shè)在所述臺階區(qū)上并與所述臺階區(qū)固定連接；其中，

所述臺階區(qū)、所述支撐部以及與所述臺階區(qū)上下位置對應(yīng)的所述載體的區(qū)域構(gòu)成所述結(jié)合區(qū)，所述載體的剩余區(qū)域構(gòu)成所述拾取區(qū)。

3.如權(quán)利要求2所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

所述支撐部包括連接部和緩沖部；其中，

所述連接部固定架設(shè)在所述臺階區(qū)上，所述緩沖部延伸至所述臺階區(qū)外并與所述過濾部相連。

4.如權(quán)利要求1所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

在所述載體內(nèi)開設(shè)有凹槽區(qū)，所述支撐部限位在所述凹槽區(qū)內(nèi)并與所述凹槽區(qū)固定連接；其中，

所述凹槽區(qū)、所述支撐部以及與所述凹槽區(qū)上下位置對應(yīng)的所述載體的區(qū)域構(gòu)成所述結(jié)合區(qū)，所述載體的剩余區(qū)域構(gòu)成所述拾取區(qū)。

5.如權(quán)利要求4所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

所述支撐部包括連接部和緩沖部；其中，

所述連接部限位固定在所述凹槽區(qū)內(nèi)，所述緩沖部延伸至所述凹槽區(qū)外并與過濾部相連。

6.如權(quán)利要求1所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

所述過濾部呈圓形結(jié)構(gòu)；并且，

在所述載體內(nèi)形成有與所述過濾部上下位置對應(yīng)的通孔，所述通孔為與所述過濾部上下位置對應(yīng)的圓柱形結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求6所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

所述載體為中空的長方體或圓柱體結(jié)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求1所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置，其特征在于，

在所述過濾部內(nèi)設(shè)置有上凹區(qū)和下凸區(qū)。

9.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，包括基板、外殼、MEMS芯片以及如權(quán)利要求1至8中任意一項所述的微型麥克風(fēng)防塵裝置；其中，

所述基板與所述外殼之間形成封裝結(jié)構(gòu)，所述MEMS芯片設(shè)置在所述封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)的基板上；并且，

在所述基板上開設(shè)有與所述MEMS芯片上下位置對應(yīng)的聲孔，所述微型麥克風(fēng)防塵裝置設(shè)置在所述聲孔外或設(shè)置在所述聲孔與所述MEMS芯片之間。

10.如權(quán)利要求9所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，

所述微型麥克風(fēng)防塵裝置通過所述載體設(shè)置在所述聲孔與所述MEMS芯片之間；并且，所述防塵網(wǎng)設(shè)置在所述聲孔和所述MEMS芯片之間。