[發明專利]微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風

在審

• 申請號: 202011404885.3
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN112492481A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 畠山庸平;林育菁
• 申請（專利權）人: 濰坊歌爾微電子有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 王迎;袁文婷

本發明提供一種微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風，其中，微型麥克風防塵裝置包括載體以及設置在載體上的防塵網；防塵網包括支撐部和過濾部，過濾部通過支撐部與載體相連；其中，支撐部和載體構成微型麥克風防塵裝置的支撐區，過濾部構成微型麥克風防塵裝置的過濾區；其中，支撐區包括拾取區和結合區，結合區由支撐部以及支撐部與載體上下位置對應的區域構成，拾取區由載體的剩余區域構成；并且，拾取區的橫截面積大于結合區的橫截面積。利用上述發明能夠有效地抑制微型麥克風防塵裝置的載體和防塵網在后期的加工組裝時出現翹曲。

技術領域

本發明涉及微型麥克風防塵技術領域，更為具體地，涉及一種微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風。

背景技術

為防止微型麥克風內部的芯片受到外界粉末、顆粒物、水分的影響，從而降低微型麥克風的使用壽命，通常情況下，都需要在微型麥克風內部與外界的連通處(如聲孔)設計微型麥克風防塵裝置，通過微型麥克風防塵裝置將微型麥克風芯片與外界環境分隔開，起到保護微型麥克風芯片的作用。

然而，傳統的微型麥克風防塵裝置通常包括網部和載體部，兩部分由不同的材料構成的。由于載體部與網部之間存在熱膨脹系數差或熱應力，因此會導致兩者產生變形的差異，在后續安裝基板等熱處理時，存在網部翹曲的問題。網部的翹曲會在需要平坦性的工序時(如疊置安裝另外的器件芯片時)和需要密封性的工序中嚴重影響工作效率。

具體地，圖1示出了現有的微型麥克風防塵裝置的主視剖面結構，由圖1可知，在傳統的微型麥克風防塵裝置中，型麥克風防塵裝置由支撐區域和過濾區域兩部分組成，支撐區域包括載體部和設置在載體部上方的網部的連接區，過濾區域為網部的過濾區。在實際加工過程中，由于支撐區域的載體部和網部的連接區的接觸面較大，且兩者的熱膨脹系數差或熱應較大，因此，兩者之間的會產生應力梯度，從而使微型麥克風防塵裝置的載體和防塵網在后期的加工和組裝時出現翹曲的問題。

基于以上技術問題，亟需一種能夠有效抑制微型麥克風防塵裝置在加工時出現翹曲的方法。

發明內容

鑒于上述問題，本發明的目的是提供一種微型麥克風防塵裝置，以解決現有的微型麥克風防塵裝置在加工組裝時易出現翹曲的問題。

本發明實施例中提供的微型麥克風防塵裝置，包括載體以及設置在所述載體上的防塵網；其特征在于，所述防塵網包括支撐部和過濾部，所述過濾部通過所述支撐部與所述載體相連；其中，所述支撐部和所述載體構成所述微型麥克風防塵裝置的支撐區，所述過濾部構成所述微型麥克風防塵裝置的過濾區；其中，所述支撐區包括拾取區和結合區，所述結合區由所述支撐部以及所述支撐部與所述載體上下位置對應的區域構成，所述拾取區由所述載體的剩余區域構成；并且，所述拾取區的橫截面積大于所述結合區的橫截面積。

此外，優選的方案是，在所述載體上方一體成型設置有臺階區，所述支撐部架設在所述臺階區上并與所述臺階區固定連接；其中，

所述臺階區、所述支撐部以及與所述臺階區上下位置對應的所述載體的區域構成所述結合區，所述載體的剩余區域構成所述拾取區。

此外，優選的方案是，所述支撐部包括連接部和緩沖部；其中，

所述連接部固定架設在所述臺階區上，所述緩沖部延伸至所述臺階區外并與過濾部相連。

此外，優選的方案是，在所述載體內開設有凹槽區，所述支撐部限位在所述凹槽區內并與所述凹槽區固定連接；其中，

所述凹槽區、所述支撐部以及與所述凹槽區上下位置對應的所述載體的區域構成所述結合區，所述載體的剩余區域構成所述拾取區。

此外，優選的方案是，所述支撐部包括連接部和緩沖部；其中，

所述連接部限位固定在所述凹槽區內，所述緩沖部延伸至所述凹槽區外并與過濾部相連。

此外，優選的方案是，所述過濾部呈圓形結構；并且，