[發(fā)明專(zhuān)利]聲波諧振器、濾波器、多路復(fù)用器和晶片在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011400523.7 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112929004A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 小宮山凌平 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 太陽(yáng)誘電株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H03H9/25 | 分類(lèi)號(hào)： | H03H9/25;H03H9/64;H03H9/72;H03H9/145;H03H9/05;H03H9/02;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 趙彤;劉久亮 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 聲波 諧振器 濾波器 多路復(fù)用 晶片 | ||
聲波諧振器、濾波器、多路復(fù)用器和晶片。一種聲波諧振器，該聲波諧振器包括：支撐基板；壓電層，該壓電層設(shè)置在支撐基板上，并且是切割角在大于50°且小于150°的范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)的Y切割X傳播的鉭酸鋰；以及設(shè)置在壓電層上的一對(duì)梳狀電極，梳狀電極中的每一個(gè)包括多個(gè)電極指，梳狀電極中的一個(gè)的電極指的平均節(jié)距等于或大于壓電層的厚度的1/2。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)施方式的一些方面涉及聲波諧振器、濾波器、多路復(fù)用器和晶片。
背景技術(shù)
表面聲波諧振器作為在諸如智能電話的通信裝置中使用的聲波諧振器已經(jīng)被了解。如在例如日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2017-34363號(hào)中所公開(kāi)的，已知形成表面聲波諧振器的壓電層被接合到支撐基板，并且壓電層的厚度被調(diào)整為等于或小于表面聲波的波長(zhǎng)。如在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2015-73331號(hào)中所公開(kāi)的，已知在支撐基板和壓電層之間插入氧化硅層。如在例如日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2017-152868號(hào)中所公開(kāi)的，已知諧振頻率的溫度系數(shù)與表面聲波諧振器中的反諧振頻率的溫度系數(shù)不同。
發(fā)明內(nèi)容
為了使由聲波諧振器構(gòu)成的濾波器具有所需的特性，期望減小聲波諧振器中諧振頻率的溫度系數(shù)和反諧振頻率的溫度系數(shù)之差。
本發(fā)明的目的是減小諧振頻率的溫度系數(shù)與反諧振頻率的溫度系數(shù)之差。
根據(jù)本發(fā)明方式的第一方面，提供了一種聲波諧振器，該聲波諧振器包括：支撐基板；壓電層，該壓電層設(shè)置在支撐基板上，并且是切割角在大于50°且小于150°的范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)的Y切割X傳播的鉭酸鋰(rotated Y-cut X-propagation lithium tantalate)；以及設(shè)置在壓電層上的一對(duì)梳狀電極，梳狀電極中的每一個(gè)包括多個(gè)電極指，梳狀電極中的一個(gè)的電極指的平均節(jié)距等于或大于壓電層的厚度的1/2。
根據(jù)本實(shí)施方式的第二方面，提供了一種包括上述聲波諧振器的濾波器。
根據(jù)本實(shí)施方式的第三方面，提供了一種包括上述濾波器的多路復(fù)用器。
根據(jù)本實(shí)施方式的第四方面，提供了一種晶片，該晶片包括：支撐基板；以及壓電層，該壓電層被設(shè)置在支撐基板上，并且是切割角在大于50°且小于150°的范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)的Y切割X傳播的鉭酸鋰。
附圖說(shuō)明
圖1A是根據(jù)第一實(shí)施方式的聲波諧振器的平面圖，并且圖1B是沿圖1A中的線A-A截取的截面圖；
圖2是用于描述聲波的截面圖；
圖3A和圖3B分別是仿真A和仿真B中的聲波諧振器的截面圖；
圖4A和圖4B分別是仿真A和仿真B中的總位移分布相對(duì)于位置Z的曲線圖；
圖5A至圖5C是用于描述體波的截面圖；
圖6是頻率的溫度系數(shù)相對(duì)于壓電層的切割角的曲線圖；
圖7是諧振頻率的溫度系數(shù)和反諧振頻率的溫度系數(shù)之差以及機(jī)電耦合系數(shù)相對(duì)于壓電層的切割角的曲線圖；
圖8A表示在設(shè)置絕緣層的情況與不設(shè)置絕緣層的情況之間，諧振頻率的溫度系數(shù)和反諧振頻率的溫度系數(shù)之差相對(duì)于壓電層的切割角的比較，并且圖8B表示設(shè)置絕緣層的情況與不設(shè)置絕緣層的情況之間，機(jī)電耦合系數(shù)相對(duì)于壓電層的切割角的比較；
圖9A和圖9B是當(dāng)絕緣層的厚度變化時(shí)諧振頻率的溫度系數(shù)和反諧振頻率的溫度系數(shù)之差相對(duì)于壓電層的切割角的曲線圖；
圖10A和圖10B是當(dāng)絕緣層的厚度變化時(shí)機(jī)電耦合系數(shù)相對(duì)于壓電層的切割角的曲線圖；
圖11是根據(jù)第二實(shí)施方式的聲波諧振器的截面圖；
圖12是根據(jù)第三實(shí)施方式的聲波諧振器的截面圖；
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