[發明專利]一種建模方法有效
| 申請號： | 202011389935.5 | 申請日： | 2020-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN112541205B | 公開（公告）日： | 2022-12-30 |
| 發明（設計）人： | 周育潤;柯思羽;陳冠廷;張凱翔 | 申請（專利權）人： | 泉芯集成電路制造（濟南）有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/10 | 分類號： | G06F30/10;G06F30/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李曉光 |
| 地址： | 250101 山東省濟南市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 建模 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種建模方法，其特征在于，所述建模方法包括：
獲取預設量測圖形；
在所述預設量測圖形的周邊設計對準圖形，形成具有對準功能的中間量測圖形；
基于所述中間量測圖形進行仿真；
獲取仿真后圖形影像上的輪廓圖形；
基于所述輪廓圖形中的對準圖形和所述中間量測圖形上的對準圖形進行漂移校準；
基于校準結果對所述預設量測圖形進行模型修正，得到目標建模圖形。
2.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述輪廓圖形包括：所述預設量測圖形的輪廓圖形，以及所述對準圖形的輪廓圖形。
3.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述對準圖形的數量至少為一個。
4.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述對準圖形的尺寸量級遠大于所述預設量測圖形的尺寸量級。
5.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述對準圖形至少包括水平方向和垂直方向。
6.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述對準圖形為規則圖形。
7.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，當所述對準圖形的數量為多個時，所述對準圖形分布在所述預設量測圖形對角線的兩端。
8.根據權利要求1所述的建模方法，其特征在于，所述對準圖形的位置遠離所述預設量測圖形的位置。
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