[發明專利]超薄片固定裝置及方法

在審

• 申請號: 202011388324.9
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112548450A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 杜秀蓉;張曉強;孫元成;宋學富;鐘利強
• 申請（專利權）人: 中國建筑材料科學研究總院有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;B23K26/70;B23K26/38
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 周志斌

本發明涉及超薄片固定技術領域，尤其涉及一種超薄片固定裝置及方法。該超薄片固定裝置包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面設有與所述定位基板的形狀相適配的定位槽，所述定位基板安裝于所述定位槽的內部；所述定位基板的上表面為設有用于固定超薄片的液膜。本發明結構簡單，操作方便，能夠依靠液膜的表面張力將超薄片固定在定位基板上，從而有效解決了超薄片在切割和鍍膜過程中極易彎曲變形的問題，確保了超薄片在加工過程中的平面度和平整度。

技術領域

本發明涉及超薄片固定技術領域，尤其涉及一種超薄片固定裝置及方法。

背景技術

目前，對于厚度小于0.2mm的超薄石英玻璃片，當尺寸(直徑或長寬)大于100mm時，便會表現出一定的撓性，即受力成彎曲面。當對超薄片進行激光切割加工時，需要保證固定情況下，現有技術一般采用機械夾持、機械牽拉、膠粘、負壓吸附等固定方式。

由于超薄石英玻璃片的厚度可以薄至幾十微米，當進行激光切割時，現有技術的固定方式存在如下缺陷：1、如果采用機械夾持固定的方式，極易造成玻璃片彎曲變形，導致激光焦點不能完全落在玻璃片表面，從而造成切割不完全；2、如果采用機械牽拉固定的方式，容易造成玻璃片受力不均引起破碎，對機械牽拉固定裝置的調節精度要求高；3、如果采用膠粘固定的方式，切割后表面清洗難度增加，并且拆卸時破損率較高；4、如果采用負壓吸附固定的方式，則容易隨著激光切割過程中的吹氣而失效。

發明內容

本發明提供一種超薄片固定裝置，能夠有效解決超薄片切割和鍍膜過程中極易彎曲變形的問題。

本發明提供一種超薄片固定裝置，包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面設有與所述定位基板的形狀相適配的定位槽，所述定位基板安裝于所述定位槽的內部；所述定位基板的上表面為設有用于固定超薄片的液膜。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述定位基板的上表面為拋光平面；所述定位基板的下表面為拋光平面。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述液膜采用去離子水和乙醇的混合液制成；或所述液膜采用去離子水和甲醇的混合液制成；或所述液膜采用去離子水和異丙醇的混合液制成。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述液膜的表面張力為22mN/m～73mN/m。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述定位基板為矩形板；所述定位槽為與所述定位基板的形狀相適配的矩形凹槽，所述矩形凹槽的底面為拋光平面。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，在所述矩形凹槽的四個側壁上分別設有注液孔，各所述注液孔分別沿水平方向延伸設置；各所述注液孔的一端分別與所述定位槽相連通，各所述注液孔的另一端分別貫穿所述固定底座的外側壁。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述注液孔相對于所述定位槽的底面的設置高度大于所述定位基板與所述液膜的厚度之和。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，還包括三軸位移調節平臺，所述固定底座安裝在所述三軸位移調節平臺上。

根據本發明提供的一種超薄片固定裝置，所述定位基板的厚度為1mm～20mm；所述液膜的厚度為50nm～200nm。

本發明還提出一種超薄片固定方法，采用上述的超薄片固定裝置，具體包括如下步驟：

將定位基板裝入固定底座的定位槽中；

配置出表面張力為22mN/m～73mN/m的混合液；其中所述混合液采用去離子水和乙醇混合而成，或所述混合液采用去離子水和甲醇混合而成，或所述混合液采用去離子水和異丙醇混合而成；

將預定量的所述混合液滴在所述定位基板的上表面形成液滴；