[發(fā)明專利]超薄片固定裝置及方法

在審

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• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112548450A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜秀蓉;張曉強;孫元成;宋學(xué)富;鐘利強
• 申請（專利權(quán)）人: 中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;B23K26/70;B23K26/38
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 周志斌

1.一種超薄片固定裝置，其特征在于：包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面設(shè)有與所述定位基板的形狀相適配的定位槽，所述定位基板安裝于所述定位槽的內(nèi)部；所述定位基板的上表面為設(shè)有用于固定超薄片的液膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述定位基板的上表面為拋光平面；所述定位基板的下表面為拋光平面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述液膜采用去離子水和乙醇的混合液制成；或所述液膜采用去離子水和甲醇的混合液制成；或所述液膜采用去離子水和異丙醇的混合液制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述液膜的表面張力為22mN/m～73mN/m。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述定位基板為矩形板；所述定位槽為與所述定位基板的形狀相適配的矩形凹槽，所述矩形凹槽的底面為拋光平面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超薄片固定裝置，其特征在于：在所述矩形凹槽的四個側(cè)壁上分別設(shè)有注液孔，各所述注液孔分別沿水平方向延伸設(shè)置；各所述注液孔的一端分別與所述定位槽相連通，各所述注液孔的另一端分別貫穿所述固定底座的外側(cè)壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述注液孔相對于所述定位槽的底面的設(shè)置高度大于所述定位基板與所述液膜的厚度之和。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的超薄片固定裝置，其特征在于：還包括三軸位移調(diào)節(jié)平臺，所述固定底座安裝在所述三軸位移調(diào)節(jié)平臺上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的超薄片固定裝置，其特征在于：所述定位基板的厚度為1mm～20mm；所述液膜的厚度為50nm～200nm。

10.一種超薄片固定方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1至9任一項所述的超薄片固定裝置，具體包括如下步驟：

將定位基板裝入固定底座的定位槽中；

配置出表面張力為22mN/m～73mN/m的混合液；其中所述混合液采用去離子水和乙醇混合而成，或所述混合液采用去離子水和甲醇混合而成，或所述混合液采用去離子水和異丙醇混合而成；

將預(yù)定量的所述混合液滴在所述定位基板的上表面形成液滴；

將超薄片輕輕放置在所述液滴上，使所述液滴在表面張力的作用下擴(kuò)展成液膜均勻分布在所述定位基板與所述超薄片之間，以實現(xiàn)對所述超薄片的固定；其中，所述液膜的厚度為50nm～200nm。