[發(fā)明專利]一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011388274.4
• 申請(qǐng)日: 2020-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN112614805A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周杰;張琪;符友銀;李俊毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京新毅東科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 侯克邦

1.一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，包括晶圓載臺(tái)本體（1），所述晶圓載臺(tái)本體（1）的底部固定連接有承載柱（5），所述晶圓載臺(tái)本體（1）的外側(cè)固定連接有三個(gè)支撐板（2），所述支撐板（2）的一側(cè)固定連接有限位柱（3），所述晶圓載臺(tái)本體（1）的頂部設(shè)置有晶圓（4），所述晶圓（4）的正下方設(shè)置有光學(xué)傳感器（6），所述光學(xué)傳感器（6）的設(shè)置范圍應(yīng)在晶圓（4）的圓周范圍內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，三個(gè)所述支撐板（2）沿晶圓載臺(tái)本體（1）的圓心設(shè)置，且每個(gè)支撐板（2）之間夾角的度數(shù)為120°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，所述支撐板（2）的頂面與晶圓載臺(tái)本體（1）的頂面平齊，所述支撐板（2）的厚度為晶圓載臺(tái)本體（1）的厚度的二分之一。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，所述晶圓載臺(tái)本體（1）的內(nèi)部設(shè)置有第一通孔（7），且第一通孔（7）的圓心和晶圓載臺(tái)本體（1）的圓心為同一點(diǎn)，所述晶圓載臺(tái)本體（1）內(nèi)部設(shè)置有四個(gè)第二通孔（8），四個(gè)所述第二通孔（8）沿晶圓載臺(tái)本體（1）的圓心為軸在360°范圍內(nèi)均勻設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，所述晶圓載臺(tái)本體（1）內(nèi)部分別設(shè)置有第一間隙（9）和第二間隙（10）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，所述第一間隙（9）的圓心和第二間隙（10）的圓心為同一圓心，且均以晶圓載臺(tái)本體（1）的圓心設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，其特征在于，所述第一間隙（9）和第二間隙（10）均為環(huán)形，所述第一間隙（9）的半徑大于第二間隙（10）的半徑。